PIEZOCONCEPT納米定位器Z-STAGE.50型參數(shù)簡介

PIEZOCONCEPT是生產(chǎn)納米平臺的行業(yè)，主要針對納米平臺與超高分辨率顯微鏡、光子捕獲和原子力顯微鏡配套使用。PIEZOCONCEPT納米定位臺系列產(chǎn)品的特點就是使用的傳感器優(yōu)于電容傳感器，能夠獲得更強的信號，確保平臺高穩(wěn)定性。同時，我們采用低噪聲電子和彎曲設計平臺，能夠確保亞納米級本底噪聲。

PIEZOCONCEPT納米定位臺系列產(chǎn)品主要應用：

航天航空

顯微與成像

醫(yī)療技術

納米技術

數(shù)據(jù)存儲技術

圖像處理

測量/檢測

生物科學與生命科學

集成光學

激光加工與激光光刻

半導體技術

超精密加工

Z-STAGE系列是一款緊湊型Z型直接驅(qū)動納米定位器，具有高速能力。它可以與具有2×66毫米孔徑（LF66 / LFHS2）的2軸納米定位器結合使用，以獲得SPM3或SPM3LR。Z 載物臺可提供 5、10、25 或 50μm 的運動范圍。

納米定位器Z-STAGE.50型號參數(shù)

活動范圍：50μm

分辨率0.05nm

本底噪聲：0.005nm

重性 ：0.1nm

線性化：0.02

諧振頻率：3500Hz

剛度：2.7N/um

材質(zhì)：鋁

尺寸：Φ30x 69,8 mm

原理：納米位移臺主要采用超精密運動控制技術超精密技術是由光、機、電、控制軟件等多領域技術集成的運動控制技術。內(nèi)部由一個或多個壓電陶瓷作為驅(qū)動,其產(chǎn)生單軸或者多軸的運動;通過柔性鉸鏈技術將壓電陶瓷產(chǎn)生的運動傳遞和放大;經(jīng)超精密電容傳感器將運動信息傳遞給控制系統(tǒng),再由控制系統(tǒng)對該運動進行修正、補償和控制;在對運動系統(tǒng)進行閉環(huán)控制時,可實現(xiàn)納米、亞納米級別的運動分辨率和運動控制精度。

型號：

PIEZOConCEPT HS1H.10

PIEZOConCEPT HS1H.30

PIEZOConCEPT HS1H.50

PIEZOConCEPT HS1H.70

PIEZOConCEPT HS1H.100

PIEZOConCEPT HS1.10

PIEZOConCEPT HS1.30

PIEZOConCEPT HS1.50

PIEZOConCEPT HS1.70

PIEZOConCEPT HS1.100

PIEZOConCEPT Z-STAGE.5

PIEZOConCEPT Z-STAGE.10

PIEZOConCEPT Z-STAGE.25

PIEZOConCEPT Z-STAGE.50

PIEZOConCEPT TT1.5

PIEZOConCEPT TT1.10

PIEZOConCEPT LFHS2.30

PIEZOConCEPT LFHS2.50

PIEZOCONCEPT納米定位器Z-STAGE.50型參數(shù)簡介