壓差測試儀器：

壓差測量可使用微差壓計、斜管壓力計、指針式壓力計或電子式壓力計?？傊?，只要測量范圍和準確度滿足的儀器即可。壓力表的精度要求為讀數(shù)的5%，視量程的壓力設(shè)計值而定。通常0~5 mm Aq（0-50 Pa）可以涵蓋室內(nèi)外壓差的測量。

壓差檢測要求：

靜壓差的測量要求是潔凈區(qū)的所有門都關(guān)閉。在潔凈平面上按潔凈度由高到低的順序進行，直至檢測到與外界直接相連的房間。測量管口可位于室內(nèi)任意位置，不受氣流影響，測量管口表面與氣流的流線平行，測量和記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。

壓差檢測步驟：

1、首先將所有門關(guān)閉。

2、用微差壓計測量潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓力差。

3、然后記錄所有數(shù)據(jù)：壓差標準要求根據(jù)潔凈室設(shè)計或工藝要求確定被測潔凈室的正壓或負壓值。

(1)不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

(2)潔凈室與外界的靜壓差不應(yīng)小于10Pa。

(3)空氣潔凈度等級嚴格于5級(100級)的單向流潔凈室開門時，門內(nèi)0.6m處室內(nèi)工作面的粉塵濃度不應(yīng)超過粉塵濃度限值的相應(yīng)級別。

(4)如達不到上述標準要求，應(yīng)重新調(diào)整新風量和排風量，直至合格。