真空泵設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備明確要求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選用各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等，如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染的措施。