蔡司工業(yè)CT在尺寸測量方面的應(yīng)用
近年來,工業(yè)CT在尺寸測量領(lǐng)域經(jīng)歷了獨特的發(fā)展與進步,使得許多原本復(fù)雜的測試任務(wù)得到合理的解決,與光學(xué)CMM測量技術(shù)相比越來越具有競爭力。在測量領(lǐng)域,工業(yè)CT技術(shù)的最大優(yōu)勢在于可以對產(chǎn)品的內(nèi)外結(jié)構(gòu)和尺寸進行無損測量,一次掃描即可同時完成產(chǎn)品的尺寸檢測與材料質(zhì)量控制,這是工業(yè)CT在傳統(tǒng)工業(yè)測量領(lǐng)域建立了獨特的優(yōu)勢,相比于傳統(tǒng)接觸式的或光學(xué)設(shè)備的難以探測內(nèi)部結(jié)構(gòu)的掃描方式,使用工業(yè)CT技術(shù)將是一個理想的解決方案。但是,由于工業(yè)CT測量過程受很多復(fù)雜因素影響,目前為止對于工業(yè)CT設(shè)備的測量精度及置信度尚無法給出確切的回答,這也成為限制工業(yè)CT測量技術(shù)發(fā)展的瓶頸。因此,填補現(xiàn)有工業(yè)CT系統(tǒng)在測量精度及置信度表征領(lǐng)域的空白,為科研生產(chǎn)提供可信及可追溯性工業(yè)CT測量數(shù)據(jù)具有重要意義。

工業(yè)CT測量誤差主要來源分析可以從以下幾個方面著手,尤其需要注意的是在利用高精度外部尺寸測量結(jié)果對工業(yè)CT數(shù)據(jù)進行校準(zhǔn)時,尤其對于使用平板探測器的系統(tǒng)來說,需要校準(zhǔn)的尺寸應(yīng)包含樣品X-Y和X-Z兩個平面(即平行和垂直與探測器的平面),工業(yè)CT數(shù)據(jù)在這兩個方向上單個像素尺寸往往并不相等,這取決于重建矩陣的選擇。故在工業(yè)CT掃描過程中,應(yīng)盡量避免樣品放置時上下端面與射線平行,或者說應(yīng)該盡量避免樣品上下端面垂直于旋轉(zhuǎn)軸,否則導(dǎo)致樣品上下端面應(yīng)采樣不足,帶來SDK重建為引,消除因采樣不足導(dǎo)致的重建為引可以通過改變樣品的放置方式來解決,例如以15度放置。

從投影重建圖像過程中,最主要的影響因素來自于射線硬化及射線散射帶來的圖像,硬化和散射偽影,導(dǎo)致圖像灰度分布,偏離真實分布,給后續(xù)測量及閾值風(fēng)格帶來困難,這些偽影如果不經(jīng)過適當(dāng)?shù)男U?,會?dǎo)致測量的可靠性降低。
一般來說減弱射線硬化影響,可以通過在采集數(shù)據(jù)時放置前置濾波板來調(diào)節(jié),也可以通過后續(xù)硬化校正算法來改善。
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