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TEM測試電子光學(xué)原理

2023-08-11 11:32 作者:bili_74204057874  | 我要投稿

在做透射電子顯微鏡(TEM測試)包埋切片時(shí),科學(xué)指南針檢測平臺(tái)工作人員在與很多同學(xué)溝通中了解到,大多數(shù)同學(xué)對(duì)包埋切片不是很理解,針對(duì)此,科學(xué)指南針檢測平臺(tái)團(tuán)隊(duì)組織相關(guān)同事對(duì)網(wǎng)上海量知識(shí)進(jìn)行整理,希望可以幫助到科研圈的伙伴們;

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電子顯微鏡與光學(xué)顯微鏡的功能都是將細(xì)小的物體放大至肉眼可以分辨的程度,工作原理也遵循射線的阿貝成像原理,從這兩個(gè)意義上來說,兩者是相同的。它們的主要不同點(diǎn)是:

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(1)電子顯微鏡使用電子束作為射線源,必須在真空中工作,由于電子波長很短,其分辨率極高。

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(2)電子波通過物質(zhì),遵循布拉格定律,產(chǎn)生衍射現(xiàn)象,可借此對(duì)晶體物質(zhì)進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析。

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(3)電子顯微成像的襯度機(jī)理以及電子與物質(zhì)相互作用提供的信息要比光學(xué)顯微鏡豐富的多,能利用這些信息對(duì)物質(zhì)進(jìn)行深入分析。

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傳統(tǒng)透射電子顯微鏡主要是利用高能電子束與薄樣作用時(shí)產(chǎn)生的彈性散射電子和透射電子來進(jìn)行成像,而與掃描電子顯微鏡技術(shù)結(jié)合而制造出的掃描透射電子顯微技術(shù)即(STEM)利用非常小的束斑(尤其是球差校正后形成的束斑)進(jìn)行成像,可以獲取更高的空間分辨率和靈敏度。能量過濾技術(shù)的引入則可獲得電子圖像整個(gè)能量范圍的圖像信息,甚至可以進(jìn)行化學(xué)鍵成像和帶隙成像。

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