厚禮博HORIBA質(zhì)量流量控制器種草
特點(diǎn):
1.任意角度安裝
S48模擬產(chǎn)品在設(shè)備的不同位置及角度安裝時(shí)對(duì)氣體流量變化幾乎沒有影響,打破了傳統(tǒng)MF0的安裝條件限制,給用戶帶來便利。
2.高精度響應(yīng)快
S48模擬產(chǎn)品使用了先進(jìn)的多段線性調(diào)整技術(shù)使流量控制精度更加精確,實(shí)現(xiàn)良好的量程比響應(yīng)時(shí)間2S以內(nèi)《電/氣特性響應(yīng)時(shí)間),提高工藝與實(shí)驗(yàn)的水平和精度。
3.可自動(dòng)調(diào)零
質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))由于環(huán)境的變化和長(zhǎng)時(shí)間的使用,可能出現(xiàn)零點(diǎn)源移的情況,為了得到更高的流量控制精度,需要對(duì)零點(diǎn)進(jìn)行修正。S48 模擬產(chǎn)品具備自動(dòng)調(diào)零功能。當(dāng)零點(diǎn)偏移時(shí),可以自動(dòng)調(diào)整零點(diǎn)。
應(yīng)用:
1.光伏
在氣相沉積/擴(kuò)散/晶體生長(zhǎng)等過程中精確控制氣體流量
2.生物制藥
生物反應(yīng)器中的氣體供應(yīng)及控制
3.光纖
控制H2與02的流量以控制燃燒,產(chǎn)生預(yù)制棒
4.分析儀器
在氣體燃燒、載氣及氣體采樣過程中控制氣體流量
什么是質(zhì)量流量控制器?
質(zhì)量流量控制器可以根據(jù)設(shè)定流量發(fā)送的電信號(hào)自動(dòng)控制氣體流量,不受使用條件和氣壓的影響。流量大致分為“體積流量”和“質(zhì)量流量”。體積流量會(huì)受環(huán)境溫度和壓力的影響;實(shí)際流量需要測(cè)量和計(jì)算壓力和溫度。質(zhì)量流量受環(huán)境壓力和溫度的影響非常小,因此可以提供更準(zhǔn)確穩(wěn)定的測(cè)量和控制。我們的質(zhì)量流量控制器在工業(yè)領(lǐng)域使用廣泛,在流量精確控制或自動(dòng)生產(chǎn)線搭建中是不可缺少的設(shè)備。
工作原理:
1.氣體從進(jìn)氣口流經(jīng)傳感器和分流器。2.在傳感器中,質(zhì)量流量根據(jù)溫度的變化,通過電橋轉(zhuǎn)化成電信號(hào)。3.電信號(hào)通過放大電路和修正電路使輸出為線性在0~5V之間,同時(shí)信號(hào)發(fā)送到比較控制電路。4.比較電路通過比較流量設(shè)定信號(hào)和傳感器實(shí)際流量信號(hào),然后發(fā)送差分信號(hào)給閥效動(dòng)電路。5.流量控制閥上下移動(dòng)使設(shè)定信號(hào)和輸出信號(hào)的差值趨于零。換句話說,控制電路控制流量一直與設(shè)定保持一致。