真空等離子清洗機由真空發(fā)生系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、等離子體發(fā)生器、真空腔休息、機械等部件組成，真空系統(tǒng)和真空室可根據(jù)客戶的特殊要求定制，真空等離子清洗機具備數(shù)控技術(shù)易于使用，自動化程度高；控制裝置精度高，時間控制精度高等優(yōu)點；

正確的等離子體清洗不會在表面產(chǎn)生損傷層，保證表面質(zhì)量；因為它是在真空中進行的，不會污染環(huán)境，所以清潔表面不會被二次污染。

真空等離子清洗機兩個電極形成電磁場，用真空泵實現(xiàn)一定的真空度。隨著氣體越來越薄，分子間距和分子或郭的自由運動距離也越來越長。在磁場的作用下，碰撞形成等離子體，同時會發(fā)生光輝，等離子體在電磁場內(nèi)空間運動，轟擊被處理物體表面，去除表面油污和表面氧化物，灰化表面有機物等化學(xué)物質(zhì)。

真空等離子清洗機工作流程：

真空等離子清洗機包括反應(yīng)室、電源和真空泵組。樣品放置在反應(yīng)室內(nèi)，真空泵開始抽氣到一定的真空度，電源啟動產(chǎn)生等離子體，然后氣體進入反應(yīng)室，使室內(nèi)等離子體進入反應(yīng)等離子體，這些等離子體與樣品表面反應(yīng)，生產(chǎn)揮發(fā)性副產(chǎn)品，由真空泵抽出。

在真空等離子體清洗機的工作中，腔內(nèi)的離子是不定向的，只要材料暴露在腔內(nèi)，無論哪個表面哪個角落都可以清洗到位，等離子清洗機直空系統(tǒng)的質(zhì)量是影響清洗質(zhì)量的重要因素之一。真空等離子清洗設(shè)備的清洗技術(shù)優(yōu)點：

1、真空等離子清洗設(shè)備的清洗對象經(jīng)等離子體清洗后干燥，無需干燥即可送至下一道工序，可快速提高整個工藝流水線的處理效率；

2、真空等離子設(shè)備的清洗技術(shù)使用戶遠離有害溶劑對人體的危害，避免了濕法清洗中容易清洗清洗對象的問題；

3、真空等離子清洗設(shè)備的清洗應(yīng)避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，清洗后不會產(chǎn)生有害污染物。因此，這種清洗方法屬于環(huán)保綠色清洗方法。這在全球高度重視環(huán)境保護的情況下越來越重要；

4、等離子體的方向性不強，使其能夠深入物體的微孔和凹陷內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀，而且這些難清洗部位的清洗效果甚至比氟利昂好；

5、采用真空等離子清洗機的清洗技術(shù)，避免了清洗液的運輸、儲存和排放，使生產(chǎn)現(xiàn)場容易保持清潔；

6、真空等離子清洗設(shè)備的清洗技術(shù)可以處理各種材料，廣泛適用于印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污,軟板、軟硬結(jié)合板等離子表面清潔、去鉆污，軟板補強前活化。半導(dǎo)體IC領(lǐng)域:COB、COG、COF、ACF工藝,用于打線、焊接前的清洗；硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。

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