氦質譜檢漏儀在真空鍍膜設備檢漏中的應用-深圳華爾升
真空鍍膜設備存有著氣密性差的問題,假如鍍膜設備維護保養(yǎng)進行后,能做一次氣密性試驗,就可以規(guī)避許多不合格產(chǎn)品的造成,做到節(jié)省成本費用的效果。
真空鍍膜設備的檢漏方法有很多種,其中最有效的就是氦質譜檢漏儀檢測。

氦質譜檢漏是真空鍍膜機真空檢漏技術里不可缺少的一種技術,因為其檢漏效率高,簡單易使用,儀器設備反映靈敏,精度高,不容易受別的氣體的影響,在檢漏中獲得了廣泛運用。氦質譜檢漏儀是依據(jù)質譜學基本原理,用氦氣作示漏氣體做成的氣密性檢測儀器。由離子源、解析器、回收器、冷陰極水解規(guī)構成的質譜分析室和吸氣系統(tǒng)及電氣一部分等構成。質譜分析室里的鎢絲發(fā)送出去的電子,在房間內不停地震蕩,并與房間內空氣和經(jīng)漏孔進入到屋內的氦氣互相撞擊使其水解成共價鍵,這種氦離子在加快靜電場的作用下進入到磁場,因為洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉,產(chǎn)生圓弧狀軌道,更改加速電壓可使不一樣品質的離子通過磁場和接受縫抵達接收極而被檢驗。
其中噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在檢漏中最經(jīng)常使用的兩種方式。
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