深圳市托理拆利機(jī)電設(shè)備有限公司是Edwards愛德華真空泵授權(quán)代理商，為客戶24小時(shí)提供技術(shù)支持及售后服務(wù)，針對(duì)各個(gè)行業(yè)工藝端設(shè)計(jì)提供適合的負(fù)壓真空系統(tǒng)解決方案，電子廠廠務(wù)真空系統(tǒng)，鋰電池真空設(shè)備、光伏真空設(shè)備、為科研真空設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室真空設(shè)備、科學(xué)儀器真空設(shè)備、半導(dǎo)體真空設(shè)備、工廠高真空設(shè)備、學(xué)校高真空設(shè)備提供優(yōu)化的真空解決方案。

集成電路+太陽能發(fā)電+芯片制造+平板顯示+鋰電烘干+制藥Edwards愛德華干式真空泵應(yīng)用?

干式真空泵市場(chǎng)規(guī)模提高的關(guān)鍵推動(dòng)要素來自于生物制藥，制藥企業(yè)運(yùn)用干式真空泵在藥物、化工中間體、原材料的生產(chǎn)流程中維持合適的反映自然環(huán)境，及其用以持續(xù)上升的新藥研究主題活動(dòng)。亞洲地區(qū)是干式真空泵市場(chǎng)增長(zhǎng)速度較快的地區(qū)，關(guān)鍵推動(dòng)要素是穩(wěn)步增長(zhǎng)的半導(dǎo)體材料和電子器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢(shì)。

干式真空泵行業(yè)應(yīng)用

集成電路行業(yè)干式真空泵

干式真空泵是半導(dǎo)體材料各制造中必不可少的通用機(jī)械，運(yùn)用于單晶體拉晶、Load-Lock、離子注入、CVD、分子層堆積（ALD）、封裝、檢測(cè)等清理或苛刻制造。獲益于近些年集成電路產(chǎn)業(yè)的持續(xù)增長(zhǎng)，干式真空泵產(chǎn)業(yè)也維持著不斷平穩(wěn)的未來發(fā)展趨勢(shì)。以 12 英尺圓晶生產(chǎn)流水線為例子，每 3.5 萬片/月生產(chǎn)能力必須約 2,000 臺(tái)機(jī)械泵。2019 年全世界圓晶在運(yùn)生產(chǎn)能力折算12 英尺約 869 萬片/月，假定總量干式真空泵每一年拆換20%（晶圓制造公司對(duì)干式真空泵的使用壽命一般為 5 年），按每臺(tái)干式真空泵平均價(jià) 10 萬余元估計(jì)，2019 年全世界集成電路行業(yè)干式真空泵總量更換市場(chǎng)規(guī)模約 100 億人民幣。

太陽能發(fā)電行業(yè)干式真空泵

干式真空泵是太陽能發(fā)電產(chǎn)業(yè)的晶體材料和硅片生產(chǎn)制造的必需機(jī)器設(shè)備。2019 本年度中國內(nèi)地硅片生產(chǎn)能力 173.7GW，晶體材料和硅片生產(chǎn)制造每 GW 必須約 200 臺(tái)干式真空泵。依據(jù)隆基股份、中環(huán)股份、晶澳高新科技、晶科能源等光伏產(chǎn)品生產(chǎn)商的公示，預(yù)估 2020 年-2022 年每一年將增加硅片生產(chǎn)能力約 50GW，亦即每一年因增加硅片生產(chǎn)能力提升干式真空泵市場(chǎng)的需求約 7億人民幣。綜上所述，預(yù)估以后兩年太陽能發(fā)電產(chǎn)業(yè)對(duì)干式真空泵的市場(chǎng)前景為每一年 12-15 億人民幣。

干式真空泵在別的產(chǎn)業(yè)運(yùn)用

除集成電路和太陽能發(fā)電產(chǎn)業(yè)外，干式真空泵做為通用機(jī)械，因?yàn)槠渚哂休^好的清潔真空泵特點(diǎn)和穩(wěn)定性，因而是 LED 產(chǎn)業(yè)的外延片生長(zhǎng)發(fā)育和芯片制造、平板顯示器產(chǎn)業(yè) PVD 等加工工藝階段真空得到的首要機(jī)器設(shè)備。除此之外，干式真空泵在鋰電烘干處理工藝流程，及其制藥業(yè)、化工廠等產(chǎn)業(yè)中都有比較普遍的運(yùn)用。

Edwards愛德華干式真空泵系列：

小型干式泵：

干式多級(jí)羅茨泵：Edwards nXLi 風(fēng)冷式單相干泵

干式渦旋泵：Edwards XDS、nXDS 和新型 mXDS 系列干式渦旋泵

干式隔膜泵：Edwards 隔膜泵

nXLi 干式多級(jí)羅茨泵：Edwards nXLi 風(fēng)冷式單相干式泵

nXRi 干式多級(jí)羅茨泵：高性能緊湊型干式泵 nXR30、40、60、90 和 120i

化學(xué)品干式泵：CXS CDX EDP

半導(dǎo)體干式泵:半導(dǎo)體真空泵

油封泵:EOSi 旋轉(zhuǎn)螺桿\E2M0.7-28 旋片式真空泵\E2M 40-275 旋片式真空泵\E2S 雙級(jí)旋轉(zhuǎn)式葉片泵\RV 雙級(jí)旋片泵\Stokes Microvac 旋轉(zhuǎn)活塞泵\nES 單級(jí)旋片泵

羅茨/增壓真空泵：EH\HV\Stokes 6" 機(jī)械增壓泵

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