一、概述

? 氦氟油加壓檢漏裝置是專門為半導(dǎo)體器件、集成電路、電子產(chǎn)品等電子元器件的精細(xì)檢測(cè)和粗檢而設(shè)計(jì)的一套自動(dòng)檢漏裝置。 設(shè)備配備PLC（可編程程序控制器），可自動(dòng)控制和操作整個(gè)檢漏過(guò)程，可有效防止誤操作，提高檢漏效率。 此外，設(shè)備的氮?dú)夤奚习惭b了光電檢測(cè)裝置，可隨時(shí)監(jiān)測(cè)氮?dú)夤迌?nèi)的油位。 該設(shè)備自動(dòng)化程度高，可靠性高。 與氦質(zhì)譜檢漏儀和重質(zhì)氟油加熱器配合使用，執(zhí)行電子元件的整個(gè)精細(xì)和粗略檢查過(guò)程。

? 工業(yè)上通常按照GJB548B-2005方法1014.2示蹤氣體氦（He）細(xì)檢漏和氟碳（輕、重氟油）粗檢漏進(jìn)行檢測(cè)。

?二、工作原理

在電子元器件檢漏中，經(jīng)常使用高沸點(diǎn)氟油和低沸點(diǎn)氟油作試驗(yàn)液體。

(A)高沸點(diǎn)氟油。常用型號(hào)為FC—43，即全氟三丁胺。它無(wú)色無(wú)味透明液體，不燃燒，對(duì)熱、化學(xué)品、金屬等高度穩(wěn)定，沸點(diǎn)為170-180℃，常溫下無(wú)毒、無(wú)腐蝕，介電性好。

?(B)低沸點(diǎn)氟油：常用型號(hào)為F113，即三氟三氯乙烷。沸點(diǎn)為47.6℃，它無(wú)毒、無(wú)腐蝕性、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定。（禁止使用，代替物可以使用DET）

氦氣氟油加壓系統(tǒng)原理主要包含氦氣加壓細(xì)檢和氟油粗檢漏，下面將詳述其工作過(guò)程。

1、元器件的氟油粗檢漏

將被檢元器件放入壓力容器中，容器密封后先抽真空到小于50Pa，保持30分鐘，在真空條件下注入低沸點(diǎn)氟油 F113（輕氟油）、淹沒(méi)工件，并用氮?dú)鈱?duì)其加壓一定時(shí)間、壓力和時(shí)間按有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行（壓力約為2～7個(gè)大氣壓，時(shí)間在1～10小時(shí)）。加壓完畢，對(duì)壓力容器緩慢卸壓（時(shí)間要大于20秒），取出被檢件，在空氣中干燥2分鐘，然后浸入已加熱到125℃的FC-43氟油（重氟油）中的深度應(yīng)大于50mm，觀察時(shí)間要多于30秒。若發(fā)現(xiàn)被檢件有連續(xù)的小氣泡或個(gè)別大氣泡冒出，則可判定為不合格。

2、元器件的氦氣加壓細(xì)檢

首先將元器件放在能加壓的密封容器中，預(yù)先對(duì)容器抽真空，再將純度大于95%的氦氣加進(jìn)壓力容器，加壓的壓力與加壓時(shí)間按標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，一般壓力為2～7個(gè)大氣壓，時(shí)間為2～10小時(shí)，加壓完畢要緩慢地使容器卸壓，并將元器件從壓力容器中取出。如果元器件有漏，氦氣則被壓入內(nèi)腔。元器件取出后，要用干燥的氮?dú)饣蚩諝獯党砻嫖降暮猓趦艋^(guò)程中，也有一部分壓入元器件內(nèi)腔的氦氣流失，為了減少這種流失，凈化的時(shí)間要盡量短。然后把被檢元器件放入一真空容器，并使該容器與氦質(zhì)譜檢漏儀相連。先對(duì)真空容器抽真空，抽好真空后打開檢漏儀進(jìn)行檢漏，若元器件有漏，則壓入的氦氣會(huì)通過(guò)漏孔逸出進(jìn)入檢漏儀，顯示該元器件有漏。

?三、氟油粗檢漏設(shè)備

氟油粗檢漏設(shè)備應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定：實(shí)驗(yàn)儀器中的元器件容器要有一定深度，以保證被檢件浸入后距液面距離要大于50mm，內(nèi)表面應(yīng)是暗淡的，不反射的黑色背景，應(yīng)配有1.5～30倍的放大鏡。儀器上所裝光源應(yīng)充足，能發(fā)平行光。儀器內(nèi)部各處的照度至少為1.61×105lX，光源應(yīng)對(duì)觀察者無(wú)強(qiáng)烈的入射和反射光。只有具備了這些條件，才能使操作人員更方便地觀察冒泡，以利于判別微小的泄漏。

四、氦氣氟油加壓檢漏裝置使用注意事項(xiàng)

1、氟油高溫氣泡檢漏后的檢查

元器件在作氟油高溫氣泡檢漏后，應(yīng)清洗干凈表面，用放大鏡仔細(xì)檢查玻璃、陶瓷封接部位，不應(yīng)有明顯的裂紋缺陷，否則要對(duì)元器件清洗烘干后，重新作氦質(zhì)譜背壓檢漏。元器件進(jìn)入加熱的氟油槽，瞬間溫度變化在100℃左右，元器件上的某些非金屬材料，可能承受不住由此帶來(lái)的熱應(yīng)力，并使之產(chǎn)生一些新的缺陷，如玻璃脆裂、封接開脫等。一個(gè)被檢件在細(xì)檢漏時(shí)符合要求，在粗檢漏時(shí)產(chǎn)生了玻璃脆裂、封接開脫等新的缺陷，再返回去重新作細(xì)檢漏，可能就不合格，由于氟油粗檢漏一般是安排在氦質(zhì)譜背壓檢漏之后進(jìn)行，粗檢漏時(shí)新產(chǎn)生的缺陷形成的泄漏，可能就被漏檢。所以在氟油檢漏之后，要擦拭干凈被檢件表面，用放大鏡仔細(xì)檢查，如果有明顯的裂紋缺陷，應(yīng)該再作一次氦質(zhì)譜背壓檢漏，以確保檢漏結(jié)論的正確無(wú)誤。在重新作細(xì)檢漏時(shí)，應(yīng)對(duì)元器件清洗烘干，疏通可能被堵塞的漏孔。

2、粗檢漏中使用的氟油

低沸點(diǎn)氟油應(yīng)使用F113（三氟三氯乙烷）、高沸點(diǎn)氟油應(yīng)使用FC43（全氟三丁胺）。目前市場(chǎng)上有一些代用品，都存在一些質(zhì)量問(wèn)題，在檢驗(yàn)元器件的過(guò)程中可能產(chǎn)生一些不利的影響，所以要求粗檢漏時(shí)使用正規(guī)廠家生產(chǎn)的符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的F113（三氟三氯乙烷）和FC43（全氟三丁胺）。

3、氟油中的雜質(zhì)

氟油應(yīng)經(jīng)常過(guò)濾。GJB128A-1997規(guī)定，高沸點(diǎn)氟油（FC43）中不允許有大于1μm的顆粒，但在實(shí)際檢漏中，由于被檢件及環(huán)境等因素的影響，油中會(huì)逐漸積聚一些雜質(zhì)，使氟油的混濁度增加，不便于觀察，所以檢漏的高沸點(diǎn)氟油應(yīng)經(jīng)常過(guò)濾；低沸點(diǎn)氟油（F113）也應(yīng)清潔無(wú)雜質(zhì)，否則在器件用F113清洗和加壓時(shí)，氟油中的雜質(zhì)會(huì)將器件上的漏孔堵塞，影響檢漏的結(jié)果，所以F113也應(yīng)經(jīng)常過(guò)濾。

安徽諾益科技生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀憑借卓越的品質(zhì)及穩(wěn)定的性能已廣泛應(yīng)用在眾多行業(yè)上，滿足各種應(yīng)用. 可滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC.公司建立了完善的售后服務(wù)體系，配備了專業(yè)的維修工程師，對(duì)客戶的服務(wù)要求實(shí)行24小時(shí)響應(yīng)，為產(chǎn)品的穩(wěn)定運(yùn)行提供了有力的保障。更多氦檢技術(shù)，歡迎留言討論！