存在于我們周圍的物質(zhì)有三種形態(tài)：固態(tài)、液態(tài)及氣態(tài)，等離子體通常被稱為物質(zhì)的第四態(tài)。普通氣體由電中性的分子或原子組成，電離氣體是電子、離子、原子、分子或自由基粒子組成的集合體，其中的正電荷和負(fù)電荷總數(shù)在數(shù)值上總是相等的。


? ? ? ? 基于此種等離子體構(gòu)成，電離氣體表現(xiàn)出以下兩種性質(zhì)：
? ? ? ? 1、電離氣體是一種導(dǎo)電流體，而又能在與氣體體積相比擬的宏觀尺度內(nèi)維持電中性。
? ? ? ? 2、電離氣體帶電粒子之間存在庫侖力，由此導(dǎo)致帶電粒子群的種種整體運動行為會受到磁場的影響和支配。
? ? ? ? 產(chǎn)生等離子體的方式很多，自然方法存在于宇宙天體間及上層大氣，人工方法- -般為放電方式、放射線方式、真空紫外光、激光、燃燒、沖擊波、場致電離等。
? ? ? ? 放電方式又包括直流放電、低頻放電高頻放電、微波及感應(yīng)方式等。我們在設(shè)備上應(yīng)用多的是利用13.56MHz高頻電源產(chǎn)生輝光放電，在不同的反應(yīng)室條件中，實現(xiàn)各種的不同的反應(yīng)機(jī)理，從而產(chǎn)生不同的工藝效果。
? ? ? ? 等離子清洗技術(shù)技術(shù)重要的優(yōu)勢在于它的多功能性，它可用于多種材料的表面活化、清洗、刻蝕和沉積。
? ? ? ? 為什么用等離子清洗技術(shù)?此工藝是直接把高能等離子體流施加到被清洗表面以達(dá)到等離子體清洗的目的。選擇不同的氣體種類和配比，可以滿足很多等離子體清洗的要求。
? ? ? ? 例如：用氧氣等離子體可以使有機(jī)物沉積被氧化掉；用惰性的氬氣等離子體可以使顆粒污染被機(jī)械地沖洗掉；用氫氣等離子體可以消除金屬表面氧化等等。
? ? ? ? 應(yīng)用等離子清洗技術(shù)清洗金屬、陶瓷和塑料表面的有機(jī)物，大大增強了這些材料表面的附著力和鍵合力。
? ? ? ? 隨著對這門技術(shù)的研究的不斷深人，其應(yīng)用已越來越廣泛。在電子領(lǐng)域，可用此技術(shù)做混合電路、PCB板、SMT、BGA、導(dǎo)線框和平板顯示器的清洗和刻蝕；在醫(yī)療領(lǐng)域也要應(yīng)用此種技術(shù)來改善各種導(dǎo)管、超細(xì)導(dǎo)管、過濾器、傳感器等醫(yī)療設(shè)置的光滑度、沾濕性等關(guān)鍵指標(biāo)。
? ? ? ? 在大規(guī)模集成電路和分立器件行業(yè)中，等離子清洗技術(shù)一般應(yīng)用于以下幾個關(guān)鍵步驟中：
? ? ? ? 1、去膠，用氧的等離子體對硅片進(jìn)行處理，去除光刻膠；
? ? ? ? 2、金屬化前器件襯底的等離子體清洗；
? ? ? ? 3、混合電路粘片前的等離子體清洗；
? ? ? ? 4、鍵合前的等離子體清洗；
? ? ? ? 5、金屬化陶瓷管封帽前的等離子體清洗；
? ? ? ? 6、等離子清洗技術(shù)工藝的可控性、可重復(fù)性，反映在設(shè)備使用上具有經(jīng)濟(jì)、環(huán)保、高效、高可靠性和易操作性等優(yōu)點。