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說到芯片，相信關注它的朋友都知道，目前美國壟斷市場占了全球50%的份額，而國內(nèi)在芯片方面經(jīng)常被美國卡脖子，比如中興、華為等。而且不僅僅是卡成品芯片，還卡生產(chǎn)芯片的設備、材料、EDA軟件等。

一說起芯片，很多朋友都會說，要加速國產(chǎn)替代，不讓別人卡住我們的脖子。但在整個芯片產(chǎn)業(yè)，究竟有多少卡脖子的技術環(huán)節(jié)，我們又該在什么地方努力？

目前有很多朋友表示，芯片有三大上游產(chǎn)業(yè)，分別是EDA、半導體設備、半導體材料，只要搞定這三大產(chǎn)業(yè)，就不用愁了。這樣說也對，但不夠全面，真正三大卡脖子的技術主要是在工藝、裝備/材料、設計IP核/EDA。

工藝是指芯片制造工藝，這是與芯片生產(chǎn)企業(yè)本身的技術相關的。比如臺積電、三星達到了5nm，格芯、Intel、聯(lián)電等達到了10nm，而目前國產(chǎn)技術只達到14nm。

設備/材料其實是一體的，裝備是指光刻機、刻蝕機、離子注入機等。在設備的前10大廠商中，美國有4家，日本有4家，歐洲有2家，其中美國份額高。

在材料方面，日本壟斷半導體材料70%的市場，這兩方面都需要我們繼續(xù)加強。

EDA是用來設計芯片的軟件，目前整個市場被美國企業(yè)壟斷了90%以上，國產(chǎn)不足5%。

IP核是指指令集，比如ARM、X86、RISC-V、MIPS、Alpha、Power。目前國內(nèi)就沒有自己的指令集，都是采用國外的指令集來設計芯片。

可見三大關鍵環(huán)節(jié)，都是被卡著脖子，并且是一環(huán)套一環(huán)，要想不被卡脖子，這些環(huán)節(jié)要全部實現(xiàn)國產(chǎn)替代才行，可見這是整個供應鏈體系的事情，而不是某一家廠商，或幾家廠商的事情，需要一批批強大的企業(yè)。

以上這些環(huán)節(jié)需要專業(yè)的人才培養(yǎng)、高效的創(chuàng)新機制和深厚的科技文化支撐，因此，就需要從基礎做起，盡快普及相關的科技知識。本書就是為了解決上述問題而出版的，涉及前段制程、清洗與干燥、離子注入和熱處理、光刻、刻蝕、成膜、平坦化、CMOS、后段制程，為半導體技術的知識普及，為加速半導體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)替代，解決“卡脖子”問題盡一份綿薄之力。

內(nèi)容簡介

本書以簡潔明了的結構向讀者展現(xiàn)了半導體制造工藝中使用的設備基礎和構造。全書涵蓋了半導體制造設備的現(xiàn)狀以及展望，同時也對清洗和干燥設備、離子注入設備、熱處理設備、光刻設備、蝕刻設備、成膜設備、平坦化設備、監(jiān)測和分析設備、后段制程設備等逐章進行解說。雖然包含了很多生澀的詞匯，但難能可貴的是全書提供了豐富的圖片和表格，幫助讀者進行理解。相信本書一定能帶領讀者進入一個半導體制造設備的立體世界。

本書適合從事半導體與芯片加工、設計的從業(yè)者，以及準備涉足上述領域的上班族和學生閱讀參考。

此版本僅限在中國大陸地區(qū)（不包括香港、澳門特別行政區(qū)及臺灣地區(qū)）銷售。

作者簡介

佐藤淳一，畢業(yè)于京都大學工學研究科，并獲得碩士學位。1978年開始就職于東京電氣化學工業(yè)株式會社（現(xiàn)TDK），1982年開始就職于索尼公司。一直從事半導體和薄膜器件相關工藝的研究開發(fā)工作。在此期間，參與創(chuàng)建半導體尖端技術公司，擔任長崎大學兼職講師、行業(yè)協(xié)會委員等職位，同時也是應用物理學會員。

譯者簡介

盧濤，江蘇常州人，日本中央大學工科碩士。精通各種半導體制造設備流程與開發(fā)，曾參與半導體工廠數(shù)據(jù)的實時傳輸和設備狀態(tài)的分析。

精彩書評

集成電路產(chǎn)業(yè)以制造為本，制造業(yè)之基在于設備與材料。本書簡約生動地介紹了集成電路制造業(yè)中常用的設備與材料，以圖文并茂的方式俯覽集成電路制造業(yè)全貌，適用于絕大多數(shù)對集成電路產(chǎn)業(yè)有興趣的讀者。
本書還以青花筆法勾勒了日本半導體產(chǎn)業(yè)的過去、現(xiàn)在與未來。日本集成電路產(chǎn)業(yè)史是一面鏡子，對于今日中國半導體產(chǎn)業(yè)如何開創(chuàng)新局亦有深遠的指導意義。
---------國內(nèi)半導體行業(yè)知名專家，《半導體簡史》作者 王齊

沒有高精尖的半導體設備的支撐，半導體制造將會變?yōu)闊o本之木、無源之水。本書作為原作者《圖解入門—半導體制造工藝基礎精講（原書第4版）》的姊妹篇，相信會帶給讀者更高層次對半導體工藝的理解，對普及半導體設備的基礎知識也大有裨益。

---------電子科技大學電子科學與工程學院教授 王憶文

以5G、人工智能和云計算為代表的數(shù)字技術正在快速地改變著社會，半導體是這場數(shù)字化技術革命的基石。為實現(xiàn)我國“自給自足，減少進口依賴”的半導體行業(yè)目標，需要更多的有識之士投入到學習和實踐中來，在半導體制造領域奮起直追，中國半導體行業(yè)的騰飛一定指日可待。

---------華為公司高級顧問、信息通信行業(yè)專家 李翔宇