石英半導(dǎo)體制程中的應(yīng)用
石英部件在半導(dǎo)體領(lǐng)域主要目標(biāo)市場應(yīng)用為晶圓代工中擴(kuò)散和刻蝕工藝,可以分為高溫區(qū)器件和低溫區(qū)器件兩大類,會(huì)使用的主要器件如下:
①高溫區(qū)器件主要是擴(kuò)散氧化等環(huán)節(jié)使用的爐管、玻璃舟架等,需要在高溫環(huán)境中直接或間接與硅片接觸;主要是采購電熔石英玻璃材料,通過熱加工生產(chǎn);
②低溫區(qū)器件主要是刻蝕環(huán)節(jié)的石英環(huán)等,還包括清洗過程中的花籃、清洗槽等,主要在低溫環(huán)境中使用;主要采購氣煉石英玻璃,通過冷加工生產(chǎn)。
其中高溫區(qū)器件消耗速度較快,但是類似多片機(jī)(一個(gè)承載器具承放多個(gè)硅片),低溫區(qū)器件消耗速度較慢,但是單片機(jī)(一個(gè)承載器具承放一個(gè)硅片);因此兩者整體市場規(guī)模相對比較接近。
東??h鴻志石英制品有限公司除銷售石英管、石英棒、石英板等原材料外,主要將以上原材料加工處理衍生出各種石英產(chǎn)品。
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