X射線熒光分析儀簡稱XRF,是分析XRF光譜分析技術(shù)可用于確認(rèn)物質(zhì)里的特定元素，同時(shí)將其量化。

發(fā)展歷程

1895年倫琴發(fā)現(xiàn)X射線;

1910年特征X射線光譜的發(fā)現(xiàn)，為X射線光譜學(xué)的建立奠定了基礎(chǔ)；

20世紀(jì)50年代商用X射線發(fā)射與熒光光譜儀的問世，使得X射線光譜學(xué)技術(shù)進(jìn)入了實(shí)用階段；

60年代能量色散型X射線光譜儀的出現(xiàn)，促進(jìn)了X射線光譜學(xué)儀器的迅速發(fā)展，并使現(xiàn)場和原位X射線光譜分析成為可能。

后來又出現(xiàn)了全反射和同步輻射X射線熒光光譜儀、粒子激發(fā)X射線光譜儀、微區(qū)X射線熒光光譜儀等。

X射線熒光光譜儀原理

X射線熒光分析儀是一種比較新型的可以對多元素進(jìn)行快速同時(shí)測定的儀器。在X射線激發(fā)下，被測元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級躍遷而發(fā)出次級X射線（X-熒光）。

X射線是一種波長較短的電磁輻射，通常是指能量范圍在0.1~100 keV的光子。X射線與物質(zhì)的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。

XRF工作原理是X射線光管發(fā)出的初級X射線照射樣品，樣品中原子的內(nèi)層電子被激發(fā)，當(dāng)外層電子躍遷時(shí)產(chǎn)生特征X射線，通過分析樣品中不同元素產(chǎn)生的特征熒光X射線波長（或能量）和強(qiáng)度，可以獲得樣品中的元素組成與含量信息，達(dá)到定性定量分析的目的。

X射線熒光光譜儀分類

按照色散方式的不同，X射線熒光光譜儀可以分為2類：波長色散型X射線熒光光譜儀（WDXRF）和能量色散型X射線熒光光譜儀（EDXRF）。

能量色散型x射線光譜儀

現(xiàn)代應(yīng)用X射線熒光光譜分析技術(shù)目前已在地質(zhì)、冶金、材料、環(huán)境等無機(jī)分析領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，是各種無機(jī)材料中主組分分析最重要的技術(shù)手段之一，各種與X射線熒光光譜相關(guān)的分析技術(shù)，如同步輻射XRF、全反射XRF光譜技術(shù)等，在痕量和超痕量分析中發(fā)揮著重要的作用。

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