01.基本介紹

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電阻率測試是半導(dǎo)體材料常規(guī)參數(shù)測量項目之一。測量電阻率的方法很多，如三探針法、電容---電壓法、擴展電阻法等。四探針法則是一種廣泛采用的標準方法，在半導(dǎo)體工藝中最為常用。其主要優(yōu)點在于設(shè)備簡單，操作方便，精確度高，對樣品的幾何尺寸無嚴格要求。四探針法除了用來測量半導(dǎo)體材料的電阻率以外，在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中廣泛使用四探針法來測量擴散層薄層電阻，以判斷擴散層質(zhì)量是否符合設(shè)計要求。

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02.四探針發(fā)展歷史

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1865 年 首次提出四探針測試原理 湯姆森 ;

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1920 年 第一次實際應(yīng)用，測量地球電阻率 Schlunberger ;

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1954 年 第一次用于半導(dǎo)體電阻率測試 Valdes;

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1980 年代 具有Mapping 技術(shù)的四點探針出現(xiàn);

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1999 年 開發(fā)出首臺微觀四點探針 Pertersen。

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03.四探針測試原理圖

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最為常用的測試方法為直線(常規(guī))四探針法和雙電測四探針法。

ST2258C多功能數(shù)字式四探針測試儀(常規(guī)四探針法選用)

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ST2263雙電測數(shù)字式四探針測試儀(雙電測法選用)

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