離子注入機是集成電路制造前工序中的關(guān)鍵設(shè)備，離子注入的目的是改變半導(dǎo)體的載流子濃度和導(dǎo)電類型。與常規(guī)熱摻雜工藝相比，離子注入可對注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴散等方面進行精確的控制，克服了常規(guī)工藝的限制，提高了電路的集成度、開啟速度、成品率和壽命，降低了成本和功耗。離子注入機廣泛用于摻雜工藝，可以滿足淺結(jié)、低溫和精確控制等要求，已成為集成電路制造工藝中必不可少的關(guān)鍵裝備。

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離子注入機按能量高低可分為：低能離子注入機、中能離子注入機、高能離子注入機和兆伏離子注入機；按束流大小可分為：小束流離子注入機、中束流離子注入機、強流離子注入機和超強流離子注入機。

離子注入機分類

資料來源：共研產(chǎn)業(yè)咨詢（共研網(wǎng)）

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市場上離子注入機主要由美國和日本的廠商壟斷，國內(nèi)起步較晚。目前，國內(nèi)僅有凱世通和北京中科信電子裝備有限公司兩家廠商具備離子注入設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)能力。

目前全球主要的離子注入機生產(chǎn)廠家

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隨著中國集成電路和AMOLED行業(yè)快速發(fā)展，國內(nèi)對集成電路離子注入機和AMOLED離子注入機的需求不斷增大，2021年5月，凱世通自主研發(fā)的首臺低能大束流離子注入機率先在國內(nèi)12英寸主流集成電路芯片制造廠完成設(shè)備驗證和驗收工作，這也是國內(nèi)首臺完成主流客戶驗證并確認收入的國產(chǎn)低能大束流設(shè)備。

2016-2022年中國離子注入機市場規(guī)模

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更多本行業(yè)詳細的研究分析見共研產(chǎn)業(yè)咨詢（共研網(wǎng)）《中國離子注入機市場調(diào)查與市場前景預(yù)測報告》，同時共研產(chǎn)業(yè)咨詢（共研網(wǎng)）還提供產(chǎn)業(yè)數(shù)據(jù)、產(chǎn)業(yè)研究、政策研究、產(chǎn)業(yè)鏈咨詢、產(chǎn)業(yè)圖譜、產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、可行性分析、商業(yè)計劃書、IPO咨詢等產(chǎn)品和解決方案。

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