臺積電:EUV光刻機(jī)安裝數(shù)量占行業(yè)一半,擁有60%的EUV晶圓累計產(chǎn)量
近日,臺積電舉行了年度技術(shù)研討會,在會上透露了關(guān)于未來芯片制造業(yè)務(wù)的相關(guān)信息。

根據(jù)臺積電官方公布的信息,臺積電現(xiàn)在占據(jù)了業(yè)界EUV(極紫外光)設(shè)備安裝量的50%。除了業(yè)界EUV設(shè)備安裝量以外,臺積電還擁有約60%的EUV晶圓累計產(chǎn)量。

臺積電官方表示,全新的N7+制程是該公司第一個利用EUV光刻技術(shù)的節(jié)點(diǎn),并且N5制程將更加傾向于使用EUV光刻技術(shù)。另外,5nm以后的任何產(chǎn)品都將廣泛采用EUV光刻技術(shù)。
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