? ? 碳化硅硬度僅次于金剛石，可用作砂輪等磨具的磨料。所以主要是用金剛石砂輪磨削、研磨、拋光，其中金剛石砂輪效率高，是加工SiC的重要手腕。但碳化硅不只具有高硬度的特性，而且脆性高，斷裂韌性低，在磨削過程中容易形成脆性斷裂，在材料外表留下一層破碎層，形成嚴重的外表和亞外表損傷，影響加工精度。

? ? 硬脆材料的磨削性能

? ? 磨削硬脆材料時，碳化硅磨料對其有滾動或微切削作用。當碳化硅磨粒作用在有不平整和裂紋的外表時，隨著磨削過程，在磨削載荷的作用下，一些磨粒被壓入工件，顯露的刀尖用來刮擦刻工件外表停止微切削。另一局部SiC磨粒在工件和磨盤之間滾動產生滾動作用，使工件外表構成微裂紋，裂紋擴展使工件外表構成脆性切屑，從而達到外表清潔的目的。

? ? 由于硬脆材料的抗拉強度小于抗壓強度，當磨粒加載時，硬脆資料外表的拉應力會產生微裂紋。當縱橫交織的裂痕延伸并互相穿插時，裂痕所包圍的部位就會斷裂，斷裂成小塊。這是磨削硬脆資料時切屑構成和外表構成的根本過程。

? ? 碳化硅是一種高硬度脆性資料，需求特殊的磨削液。碳化硅磨削的主要技術難點在于高硬度材料減薄厚度的準確丈量和控制。磨削后，晶片外表呈現(xiàn)損傷、微裂紋和剩余應力。減薄后，碳化硅晶圓會呈現(xiàn)比碳化硅晶片更大的翹曲現(xiàn)象。

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