油封機(jī)械泵不適用于排出含有大量水蒸氣的氣體。水蒸氣會(huì)在壓縮過(guò)程中凝結(jié)咸水滴，并與泵油混合形成懸浮液，這不僅會(huì)降低真空度，還會(huì)使泵腔和轉(zhuǎn)子生銹并損壞密封表面。

預(yù)防措施如下：

①使用帶氣鎮(zhèn)壓裝置的油封機(jī)械泵。當(dāng)泵溫度為70℃?80℃時(shí)，可以抽出水蒸氣分壓為1x 103Pamdash，4x 103Pa的氣體。

②安裝油分離器，離心分離器或油水分離器來(lái)處理與水混合的機(jī)械泵油，然后處理后的油流入泵中使用。

③使用五氧化二磷，氧化鋁，氯化鈣，分子篩等吸水力強(qiáng)的干燥劑，制成疏水閥以吸收水蒸氣。

④使用前級(jí)吸附阱，不僅可以有效地吸附水蒸氣，還可以阻止機(jī)械泵油回流到高真空室。

前兩種方法通常在工業(yè)中使用，后兩種方法通常在實(shí)驗(yàn)室和小型排氣系統(tǒng)中使用。