在使用油擴(kuò)散泵或分子泵的高真空環(huán)境中，都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸氣及其它高沸點的氣體，但機(jī)械泵抽除殘余氣體的能力低、時間長。而且殘余氣體還是工件的污染源，影響產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量。

水蒸氣、油蒸氣是真空鍍膜領(lǐng)域及高真空獲得領(lǐng)域的主要危害氣體。

（1）由于水蒸氣和油蒸氣的存在，導(dǎo)致抽真空時間變長，真空系統(tǒng)無法迅速達(dá)到目標(biāo)真空度，生產(chǎn)效率下降；所需真空度越高，環(huán)境濕度越大，影響越明顯。

（2）同時，水蒸氣，油蒸氣的存在，會導(dǎo)致膜層牢固度下降，無法多層鍍膜，顏色不均一等影響產(chǎn)品質(zhì)量現(xiàn)象發(fā)生。

（3）水蒸氣在某些條件下還會電離，產(chǎn)生氧氣，使靶材氧化，導(dǎo)致鍍膜顏色發(fā)生變化。

超低溫水汽捕集泵，是解決以上問題的上佳選擇。

超低溫水汽捕集泵的工作原理，是依照麥森納捕集原理（Principle of Meissner trapping），使水汽分子在低溫盤管（Cryocoil）的超低溫表面上凝結(jié)，有效地吸附水蒸氣，達(dá)到捕集水汽的目的。

超低溫水汽捕集泵的具體應(yīng)用：將一個-100℃以下的低溫盤管，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體，從而大大縮短抽真空的時間（可縮短60-90%的抽氣時間），獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個數(shù)量級，達(dá)到10-8?Torr、10-5?Pa)。

超低溫水汽捕集泵主要特點：

1、快速捕集水汽、油氣、可縮短抽真空時間60-90%；

2、提高鍍膜質(zhì)量，防返油、不脫落、顏色純正；

3、降溫快，3分鐘內(nèi)制冷到-100℃，最低可達(dá)-150℃；

4、升溫快，3分鐘熱氣除霜，迅速回溫；

5、制冷系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計，3分鐘可再次降溫;

6、彩色觸摸屏與工業(yè)PLC組合，歷史記錄可查詢；

7、國際品牌制冷壓縮機(jī)，環(huán)?；旌现评鋭?；

8、國際標(biāo)準(zhǔn)接口，可設(shè)計為單路或兩路負(fù)載輸出；

9、單路或兩路負(fù)載入口溫度和出口溫度的顯示和記錄；

10、內(nèi)部溫度、水冷溫度、排氣溫度、排氣壓力的顯示和記錄；

11、除霜溫度自由設(shè)定，除霜結(jié)束后自動提示；

12、壓縮機(jī)溫度過高、壓力過高報警保護(hù)；

13、水冷不足、水溫過高報警保護(hù)；

14、閥門箱前置，方便操作，避免冷凝水泄漏；

15、本地、遠(yuǎn)程自由轉(zhuǎn)換，便于機(jī)臺組合控制；

16、配置RS485通信接口，方便連接上位機(jī)。

長流儀器研發(fā)生產(chǎn)的VaporCold -145℃超低溫水汽捕集泵，采用成熟的核心技術(shù)、可靠的設(shè)計方案、進(jìn)口品牌制冷壓縮機(jī)及制冷配件、環(huán)?；旌现评鋭?、自動復(fù)疊制冷。制冷速度快、效率高、溫度低、維護(hù)方便。其設(shè)計和制造與國際技術(shù)水平同步，性能指標(biāo)達(dá)到甚至超過同類進(jìn)口機(jī)型，可實現(xiàn)對進(jìn)口機(jī)型的直接替換。