嗨大家好我是丹丹，上回沒(méi)想到礙於篇幅我沒(méi)有講完電極設(shè)定的部分，實(shí)在太粗心大意了，那我們就接續(xù)上次的結(jié)構(gòu)，設(shè)定電極然後模擬分析吧！

四、Electrode

接著我們製程完做完元件後要定義電極，就像我們用ATLAS定義好元件電方塊後要標(biāo)定電極位置一樣。

不過(guò)注意，做好元件應(yīng)該是先寫(xiě)「structure mirror right/left」一下(下圖是right，往右對(duì)稱(chēng))

而TCAD會(huì)把x座標(biāo)與y座標(biāo)位於的那整塊材料當(dāng)成電極?；蛘卟挥米鶚?biāo)用Left, Right, Bottom等。

此外name強(qiáng)烈建議使用ALTAS一定會(huì)讀懂得單詞如：
anode, cathode, emitter, base, collector, gate, source, drain, bulk and substrate.

在新版(2016以上)的TCAD中Commands>Structure>Electrode可看到如下介面：

五、Result Analysis

定義好結(jié)構(gòu)後，我們要進(jìn)行調(diào)整元件參數(shù)。藉由以下步驟調(diào)整：

1. Extract：

Extract 的用途是把元件的某個(gè)物理參數(shù)提取出來(lái)，在2016年版以後的TCAD可以透過(guò)Commands>Athena Extract展開(kāi)以下視窗：

每一種Extract的項(xiàng)目都有不同的參數(shù)與選項(xiàng)可以調(diào)整，在沒(méi)有GUI (Graphical User Interface, 圖形化使用者介面) 的狀況下，基本上就只能靠多看他人的代碼以及查user manuel的範(fàn)例代碼了。純手打的範(fàn)例語(yǔ)法在 Deckbuild 的?Manuel P.110

假如在代碼中有寫(xiě)了 Extract 指令，則在運(yùn)行過(guò)程中會(huì)把結(jié)果即時(shí)顯示窗口，例如：

不過(guò)注意到，平時(shí)說(shuō)Silvaco TCAD不在乎大小寫(xiě)，但是 extract 是例外，他只可以是小寫(xiě)。

2. TonyPlot：

呼叫Tony小哥就是要他幫我們展示模擬的結(jié)果啦。

下面我們來(lái)看看完整的代碼與模擬結(jié)果。

一樣地，希望小夥伴不要手打圖片上的代碼，珍惜愛(ài)護(hù)自己的眼睛，善用OCR(文字辨識(shí))工具，不然直勾勾盯著很傷害眼睛地！

真的不知道OCR可以留言，又或者直接私信我我傳代碼給你。我會(huì)用圖片只是為了有顏色美觀而已的。

結(jié)果呈現(xiàn)：

此外，在最後的製程中有讓元件在惰性氣體中持溫的過(guò)程，目的是為了讓摻雜從表面擴(kuò)散出去，術(shù)語(yǔ)上稱(chēng)為 drive-in：

就讓我們下回再見(jiàn)啦～