氦質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)程
一、目的
氦質(zhì)譜檢漏儀按國家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)制造,考慮到工廠的實(shí)際條件及可行性,以及儀器的各項(xiàng)檢測(cè)性能完好,符合產(chǎn)品檢測(cè)要求,特制定本規(guī)范。
二、范圍
本規(guī)程適用于本公司使用中和修理后的氦質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)。
三、引用標(biāo)準(zhǔn)
生產(chǎn)商提供的技術(shù)文件。
四、校準(zhǔn)條件
校準(zhǔn)氦質(zhì)譜檢漏儀的標(biāo)準(zhǔn)漏孔,應(yīng)是由有關(guān)專業(yè)機(jī)構(gòu)校準(zhǔn)過的并有校準(zhǔn)證明的滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔,漏率范圍在109Pa·m3s數(shù)量級(jí)。
五.校準(zhǔn)程序
5.1外觀
儀器整機(jī)應(yīng)完整,表面應(yīng)清潔,不應(yīng)有影響正常工作的破損現(xiàn)象,儀器內(nèi)機(jī)械泵油位在正常工作范圍內(nèi),肉眼觀察油質(zhì)無明顯變化。
5.2通電后性能
面板開關(guān),按鈕性能接觸良好,內(nèi)部無短路。機(jī)械泵和禍流分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)正常,無異常響聲。儀器通電啟動(dòng)后,各項(xiàng)真空指示正常,能在規(guī)定時(shí)間內(nèi)達(dá)到儀器正常工作所需的真空度。
5.3最小可檢靈敏度
開機(jī)后儀器各項(xiàng)指示,性能正常,儀器內(nèi)質(zhì)譜室真空度達(dá)到能開啟質(zhì)譜燈絲的水平,打開儀器內(nèi)校準(zhǔn)漏孔,儀器的最小可檢靈敏度應(yīng)優(yōu)于1×10-10Pa·ms。
5.4響應(yīng)時(shí)間
打開校準(zhǔn)漏孔后,到儀器指示值到達(dá)儀器指示最大值的63%所需時(shí)間,即為響應(yīng)時(shí)間,響應(yīng)時(shí)間應(yīng)≤3s。
5.5清除時(shí)間
關(guān)閉校準(zhǔn)漏孔后,到儀器指示值達(dá)到儀器最大指示值的37%所需時(shí)間,即為清除時(shí)間,清除時(shí)間應(yīng)≤3s。
六、校準(zhǔn)結(jié)果
處理如校準(zhǔn)合格,則貼上準(zhǔn)用標(biāo)簽;如保養(yǎng)不合格,修復(fù)后進(jìn)行校準(zhǔn);則貼上停用標(biāo)簽。合格貼合格證,不合格提出申請(qǐng)報(bào)廢意見。
七、校準(zhǔn)周期
校準(zhǔn)周期為一年。
有關(guān)于"氦質(zhì)譜檢漏儀漏率怎么校準(zhǔn)?",在之前的文章中已經(jīng)介紹過,這里不再贅述,有興趣的朋友可以自行查閱。
輸入錯(cuò)誤的內(nèi)置漏孔漏率值,檢漏儀自檢時(shí)一般也能通過;說明檢漏儀是對(duì)比性測(cè)試設(shè)備,檢漏儀本身并不知道檢漏信號(hào)對(duì)應(yīng)的漏率是多少,必須要有參照物-標(biāo)注漏孔來確定。
任何氦質(zhì)譜檢漏儀準(zhǔn)不準(zhǔn),檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)是對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔讀值準(zhǔn)不準(zhǔn),無其他標(biāo)準(zhǔn)。
事實(shí)上,經(jīng)常出現(xiàn)檢漏儀自檢通過其他量程誤差很大,甚至幾個(gè)量級(jí)的都有。我們甚至發(fā)現(xiàn)有檢漏儀,某幾個(gè)量級(jí)準(zhǔn)確了,另幾個(gè)量級(jí)不準(zhǔn)的情況,反之亦然。有興趣的可以觀看我們的視頻。
正確的方法是針對(duì)產(chǎn)品的漏率要求,用接近的外置校準(zhǔn)漏孔標(biāo)定檢漏儀。
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