派克的氫氣發(fā)生器有多種型號和配置可供選擇，從去離子水中產(chǎn)生高純度和超高純度的氫氣。 這種氫氣應(yīng)用于各種載氣，燃料電池，燃料氣體，反應(yīng)氣體和氣相色譜儀。

半導(dǎo)體行業(yè)中，在晶體的生長與襯底的制備、氧化工藝外延工藝中以及化學(xué)氣相淀積技術(shù)中,均要用到氫氣。導(dǎo)體工業(yè)對氣體純度要求極高,微量雜質(zhì)的“摻入”, 將會改變半導(dǎo)體的表面特性。因此，氫氣的純度越高越好。

Parker Balston H2PEMPD超高純度氫氣發(fā)生器提供安全操作，可靠性，性能和低擁有成本的理想組合。H2PEMPD氫氣發(fā)生器采用經(jīng)過現(xiàn)場驗證的PEM電池技術(shù)，氫氣可根據(jù)需要從去離子水和電力中生產(chǎn)。然后通過鈀凈化器模塊除去氧氣至<0.01ppm。新穎的控制軟件允許遠(yuǎn)程監(jiān)控和多個發(fā)電機(jī)的連接（級聯(lián)），以滿足大量氫氣需求的應(yīng)用。

該發(fā)生器的輸出能力高達(dá)1,300 ml / min，純度為99.99999 +％，壓力高達(dá)11.9 bar，是GC和GC / MS載氣（包括快速GC）和燃燒檢測器以及CVD（化學(xué)氣相淀積）應(yīng)用的理想選擇。

為實現(xiàn)連續(xù)運行，發(fā)電機(jī)標(biāo)配自動進(jìn)水。

特點與優(yōu)勢：

流量高達(dá)1,300毫升/分鐘，壓力高達(dá)11.9巴;超高純度，99.99999 +％，是GC和GC / MS載氣應(yīng)用的理想氦氣替代品;

3年標(biāo)準(zhǔn)電池保修;標(biāo)準(zhǔn)配置為自動進(jìn)水連續(xù)運行;

氫氣泄漏時自動關(guān)閉;更少的維護(hù)和操作員注意力