太陽能玻璃行業(yè)低溫等離子技術(shù)的應(yīng)用主要包括以下3方面：

一、低溫等離子清理肉眼不可見的油污

電池板表層會留下指紋和油污，因為員工在排放或焊接過程中接觸手指。電池板表面有詳細(xì)的絨面結(jié)構(gòu)，難以清洗。油污會阻礙電池板表層對光的吸收和利用，降低組件的發(fā)電效率。低溫等離子會通過電離氣體產(chǎn)生高溫高速電子束流（宏觀低氣體溫度）。束流在軸向風(fēng)扇的作用下吹掃，去除充電電池表面的油污，其中油污是可以反應(yīng)掉的而指紋是不能去除的因為指紋主要是無機鹽成分，進(jìn)而有去除油污達(dá)到清潔的作用

二、低溫等離子表層制絨

多晶硅光伏電池表層需要制備一層蠕蟲絨面，以提高光的吸收和利用效率。一般的制備工藝是利用硝酸和氫氟酸對多晶硅電池表面進(jìn)行絨面腐蝕，并在硅片表層形成一層多孔硅。多孔硅可作為一個復(fù)雜的吸收中心，提高光生載流子的壽命，并具有較低的反射系數(shù)。但多孔硅結(jié)構(gòu)松散不穩(wěn)定，電阻高，表面復(fù)合率高。等離子技術(shù)的高速顆粒撞擊充電電池表層，一方面可以使絨面處理更加詳細(xì)有序，另一方面也可以使表面結(jié)構(gòu)更加穩(wěn)定，減少復(fù)合中心的產(chǎn)生。

三、低溫等離子溫度刻蝕

由于磷在光伏制備過程中的擴散，電池片的表面和邊緣將或多或少地與磷混合。隨著磷的擴散，光生電子將從前流向背面，導(dǎo)致PN短路導(dǎo)致并聯(lián)電阻降低。并聯(lián)電阻反映了鋰電池的外泄程度，會影響太陽能電池的開路電壓，降低開路電壓，而對短路電流沒有影響。蓄電池表層也就會產(chǎn)生PSG(磷硅玻璃)，PSG易于吸收空氣中的水分，導(dǎo)致電流降低和功率衰減。低溫等離子技術(shù)能通過顆粒吹掃分解多余的磷，進(jìn)而去除PSG的目的。