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一線生機(jī)!7nm高端光刻機(jī),可以出口中國(guó)

2023-03-14 10:35 作者:高質(zhì)量基哥  | 我要投稿

上周末,荷蘭光刻機(jī)大廠ASML官網(wǎng)發(fā)布了,《關(guān)于額外出口管制的聲明》,強(qiáng)調(diào):
荷蘭政府新出臺(tái)的出口管制并不涉及所有浸沒(méi)式光刻設(shè)備,而只涉及所謂的“最先進(jìn)”設(shè)備。
換句話說(shuō),能制造7nm的高端光刻機(jī),能出口中國(guó)!

荷蘭出口管制

3月8日,荷蘭政府表示,計(jì)劃對(duì)半導(dǎo)體技術(shù)出口實(shí)施新的管制。荷蘭貿(mào)易部長(zhǎng)Liesje Schreinemacher宣布:

“荷蘭認(rèn)為有必要以最快的速度對(duì)這項(xiàng)技術(shù)進(jìn)行監(jiān)管,因此荷蘭政府將會(huì)盡快出臺(tái)一份國(guó)家管控清單”。


預(yù)計(jì)這一措施最快在2023年夏天之前出臺(tái)。美國(guó)政治新聞網(wǎng)站《政客》(Politico)認(rèn)為,荷蘭此舉是迫于美國(guó)的壓力。
雖然沒(méi)有指名道姓,但大家都知道,荷蘭的光刻機(jī)巨頭ASML,將是受影響最大的企業(yè)。
自2019年以來(lái),ASML研發(fā)的最先進(jìn)極紫外光(EUV)設(shè)備已禁止銷往中國(guó)。


3月9日,ASML在官網(wǎng)發(fā)表聲明,ASML預(yù)計(jì),必須申請(qǐng)?jiān)S可證方可出口DUV光刻機(jī)設(shè)備。


但是,沒(méi)錯(cuò)還是有個(gè)“但是”的。
ASML也希望,自己不那么先進(jìn)的浸沒(méi)式光刻機(jī),可以繼續(xù)出口到中國(guó)
ASML表示:

“新的出口管制措施,并不針對(duì)所有浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng),先進(jìn)程度相對(duì)較低的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)已能很好滿足成熟制程為主的客戶的需求。

高端浸沒(méi)式光刻機(jī)
可以出口中國(guó)!能制造7nm
ASML表示,還沒(méi)有收到什么叫“最先進(jìn)”,但ASML解釋為“關(guān)鍵浸沒(méi)式光刻設(shè)備”。
這也意味著,國(guó)內(nèi)大量采購(gòu)的NXT:1980Di,將不會(huì)受到影響。
國(guó)內(nèi)進(jìn)行成熟制程制造的晶圓廠,影響不大。
目前全球僅有ASML和尼康兩家公司,有能力生產(chǎn)高端浸沒(méi)式光刻機(jī)。
在中國(guó)與ASML有直接供應(yīng)關(guān)系的企業(yè)主要是芯片制造商,有中芯國(guó)際、華力半導(dǎo)體、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等中國(guó)企業(yè),還有三星的西安工廠、臺(tái)積電南京廠、英特爾大連廠、無(wú)錫SK海力士廠等外資企業(yè)。
ASML在售的浸沒(méi)式光刻機(jī)主要有三大型號(hào):TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT:2000i 和TWINSCAN NXT:1980Di。
根據(jù)ASML介紹,TWINSCAN NXT:1980Di 可以達(dá)到≤38nm,每小時(shí)可以生產(chǎn)275片晶圓。


通過(guò)多重曝光,依然可以支持到7nm左右。此前有媒體消息稱,臺(tái)積電的第一代7nm工藝,就是基于 NXT:1980Di 實(shí)現(xiàn)的。
只不過(guò)成本要差一些、良率有點(diǎn)感人,都難有市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。
這幾年,國(guó)內(nèi)的長(zhǎng)江存儲(chǔ)和華虹都購(gòu)買了這款光刻機(jī)。
2018年,長(zhǎng)江存儲(chǔ)和華力二期(華虹六廠),訂購(gòu)的NXT:1980Di 成功進(jìn)廠安裝,支持了兩家晶圓廠的生產(chǎn)。
此次受影響最大的,可能是浸潤(rùn)式光刻機(jī)NXT:2000i,通過(guò)多重曝光,可以支持到7nm及5nm制程工藝需求。
2018年12月,ASML NXT2000i 首次進(jìn)入中國(guó),正式搬入SK海力士位于無(wú)錫的工廠。

ASML與中國(guó)的生意

2022年,ASML全年凈銷售額為212億歐元,約合人民幣1568.98億元。
共銷售317臺(tái)新光刻機(jī),較前一年增長(zhǎng)31臺(tái),毛利率更是高達(dá)為50.5%。此外還出貨了28臺(tái)二手光刻機(jī)。


生意是不愁做的,畢竟獨(dú)此一家,別無(wú)分號(hào)。2022年底未交付訂單創(chuàng)下歷史新高,達(dá)404億歐元。
由于不能自由出貨,ASML的在華收入不可避免受干擾。ASML預(yù)計(jì),2023年中國(guó)大陸銷售額將保持在22億歐元左右,約合人民幣162億元。
而全球總銷售額將增長(zhǎng)25%,因?yàn)橹饕蛻襞_(tái)積電和英特爾都在擴(kuò)產(chǎn)。
所有產(chǎn)品中,42%銷往中國(guó)臺(tái)灣,29%銷往韓國(guó),14%銷往中國(guó)大陸,銷往美國(guó)的只有7%。


今年3月8日,荷蘭貿(mào)易部長(zhǎng)Schreinemacher稱,中國(guó)對(duì)荷蘭決定限制計(jì)算機(jī)芯片技術(shù)出口的抗議是“可以理解的”。
她在上周四表示,她預(yù)計(jì)兩國(guó)外交關(guān)系將保持良好:

中國(guó)仍然是荷蘭和歐洲的最大貿(mào)易伙伴,歐洲人購(gòu)買中國(guó)的太陽(yáng)能面板,中國(guó)購(gòu)買包括ASML機(jī)器在內(nèi)的設(shè)備,并非所有設(shè)備都將受到限制。


她表示:“所以我相信,這種相互依賴對(duì)我們雙方都有利?!?br>不知道,上海微電子裝備能支棱起來(lái)嗎~

結(jié)語(yǔ)
今年3月2日,微軟創(chuàng)始人比爾·蓋茨在《金融時(shí)報(bào)》上表示,美國(guó)試圖阻止中國(guó)研發(fā)芯片的努力是徒勞的。只會(huì)減少美國(guó)就業(yè),切斷產(chǎn)品銷路。
整個(gè)內(nèi)容談及了俄烏沖突、氣候問(wèn)題、技術(shù)和中美緊張局勢(shì)等多個(gè)話題,比爾·蓋茨認(rèn)為:
美國(guó)的做法只會(huì)“迫使”中國(guó)花時(shí)間和金錢來(lái)制造自己的芯片,“美國(guó)永遠(yuǎn)無(wú)法成功阻止中國(guó)擁有強(qiáng)大的芯片”。
·END·


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