三維輪廓測量儀有接觸式和非接觸式兩種。三本精密儀器小編講解三維輪廓測量儀的主要檢測功能

一、接觸式

接觸式三維輪廓儀是通過傳感器（傳感器的測端是一根很尖的觸針）將被測表面的微觀起伏轉換成電信號，再經(jīng)放大、運算處理后由積分表指示出Ra值，或將信號送入記錄儀畫出輪廓圖形。簡單來說就是通過將待測物體的表面滑過測針以獲取表面輪廓參數(shù)。

例如角度處理（坐標角，Y坐標的角度，兩線之間的角度），圓心到直線的距離，交點到圓心的距離，圓的處理（圓弧半徑，圓心到圓心距離，直線到切點的距離），點線處理（兩條線的交點，交點到直線的距離，交點和交點之間的距離，交點到圓心的距離），直線度、形狀參數(shù)、槽深、槽寬、對數(shù)曲線、凹槽深度、凹槽寬度、凹槽曲率半徑、凹槽余量、凹槽中心距離、輪廓、水平距離等。

測量圓錐滾子軸承表面

測量原理為直角坐標測量法，即通過X軸、Z軸傳感器，測繪出被測零件的表面輪廓的坐標點，通過電器組件，將傳感器所測量的坐標點數(shù)據(jù)傳輸?shù)缴衔籔C機，軟件對所采集的原始坐標數(shù)據(jù)進行數(shù)學運算處理，標注所需的工程測量項目。

1、一次測量可同時評定粗糙度及輪廓參數(shù)，顯示Ra參數(shù)和Pt參數(shù)；

2、表面粗糙度評定： R參數(shù)、P參數(shù)、W參數(shù)等多參數(shù)評定；

3、表面輪廓評定：評定半徑、角度、距離、坐標、圓、圓截面；確定各個點、相交各點、坐標軸、直線、垂直線、圓和圓截面，可對輪廓進行直線度、圓度、輪廓度分析等；

4、形狀誤差測量：非球面形狀誤差測量、直線形狀誤差測量、弧面形狀誤差測量；

二、非接觸式

非接觸式三維輪廓儀也叫光學3D表面輪廓儀、白光干涉儀、光學輪廓儀等，是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器。

主要用于對各種精密器件表面進行納米級測量，儀器通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

主要測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

測量原理是以白光干涉技術原理，照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。

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