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透射電子顯微鏡用金屬試樣的制作

2022-06-27 16:49 作者:沈陽科晶  | 我要投稿

? ? ? 金屬透射樣品的要求:金屬透射電鏡樣品要求雙面磨,且樣品表面呈無規(guī)則劃痕,最終樣品為直徑為φ3㎜,厚度30~50μm的小圓片。

樣品的制備

⑴?樣品的切割:首先用沈陽科晶自動化設備有限公司制造的SYJ-400或SYJ-200將試樣切割成厚度為300μm金屬薄片。

⑵?樣品的粗磨:?將切割好的300μm厚的金屬薄片用UNIPOL-160D雙面研磨拋光機加W40的磨料進行雙面磨削,將樣品減薄至100μm。

⑶ 樣品的精磨:將減薄至100μm的金屬薄片用沈陽科晶自動化設備有限公司生產(chǎn)的UNIPOL-802自動精密研磨拋光機和GPC-50A精確磨拋控制儀繼續(xù)對試樣進行雙面磨削減薄,磨削試樣時研磨盤上選用砂紙進行磨削。選用的砂紙應為2000#的水砂紙或2000#的金剛石磨片,將樣品磨削減薄至30~50μm。用GPC-50A精確磨拋控制儀可以控制樣品表面的平行度和厚度,在GPC-50A精確磨拋控制儀上放置一塊精密測厚儀,可以測量樣品磨削掉的厚度。

⑷ 樣品的粘結(jié): 首先將GPC-50A精確磨拋控制儀的載樣臺放置在沈陽科晶自動化設備有限公司制造的MTI加熱平臺上進行加熱,待載樣臺加熱到80℃左右時將石蠟涂抹在在陽臺上需要粘試樣片的位置。將試樣片從放置在融化的石蠟上,將載樣臺連同試樣片從加熱平臺上取下,在試樣片上墊一張擦鏡紙,然后用壓塊壓在擦鏡紙上面,確保試樣緊緊貼合在載樣臺上。待載樣臺冷卻后,取下壓塊和擦鏡紙,將載樣臺安裝回GPC-50A精確磨拋控制儀上。

⑸ 取圓片試樣: 用手動切片機對減薄至50μm以下的試樣片進行φ3㎜的圓片的切取。

⑹ 試樣片的減薄:①電解雙噴減?。阂螂娊怆p噴減薄會將試樣表面的相腐蝕掉、使非晶的晶化,因此試樣不進行相分析或試樣不是非晶時可以用電解雙噴減薄的方法對試樣進行減薄,直至樣品中心出現(xiàn)一個小孔。減薄設備可以選TJ100-SE電解雙噴減薄儀。

?????????????????②離子減薄:用LEICA EM RES101等離子減薄設備對樣品進行減薄,直至中心減薄出一個小孔,樣品制備完畢。等離子減薄適用范圍較廣,減薄速度相對較慢。

⑺ 樣品的觀察: 品牌:日本電子JEOL (日本電子株式會社) ??電鏡型號:JEM2010

????????????????或品牌:日立 ???????電鏡型號:H-7650型透射電子顯微鏡

或FEI公司的 ①Talos F200i ?②Talos F200x ③Talos F200s ?④ Talos L120c 透射電鏡對樣品進行觀察。

SYJ-400自動精密切割機及其所用的耗材、輔助設備和特殊工裝。
UNIPOL-160D雙面研磨拋光機及其耗材
UNIPOL-802自動精密研磨拋光機的輔助設備及其耗材

? ? ? 以上所有由沈陽科晶自動化設備有限公司制造的設備,其所用的輔助設備和耗材,本公司均有銷售。



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