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熱應(yīng)力和熱膨脹系數(shù)的關(guān)系

2023-08-29 11:55 作者:芯片智造  | 我要投稿
在半導(dǎo)體制造中,應(yīng)力 (stress) 是一個非常重要的因素,也是一個不得不考慮的問題。過大的應(yīng)力可能會引起晶圓的破裂或脫落;導(dǎo)致晶體結(jié)構(gòu)的改變,這可能會影響電子的運動;過大的應(yīng)力可能會導(dǎo)致沉積或刻蝕過程的問題,從而影響產(chǎn)品的制程控制和產(chǎn)量。


什么是應(yīng)力與熱應(yīng)力?在物理學(xué)中,應(yīng)力(Stress)是一個描述力的分布的概念。更具體地說,應(yīng)力是單位面積上的力。當一個物體受到力的作用時,這個力會在物體內(nèi)部產(chǎn)生應(yīng)力。這種應(yīng)力會引起物體的形狀和體積發(fā)生改變,這種改變通常被稱為應(yīng)變(Strain) 應(yīng)力=外力/面積 (Pa/psi)當物體由于溫度的變化而膨脹或收縮時,如果膨脹或收縮受到阻礙,則會在物體內(nèi)部產(chǎn)生應(yīng)力,這種應(yīng)力就被稱為熱應(yīng)力。什么是壓縮應(yīng)力與伸展應(yīng)力?應(yīng)力的類型分為兩種,即壓縮應(yīng)力與伸展應(yīng)力。
  1. 壓縮應(yīng)力(Compressive Stress):當一個力試圖縮短物體或壓縮物體時,它在物體內(nèi)產(chǎn)生的應(yīng)力稱為壓縮應(yīng)力。例如,當你試圖壓縮一個彈簧或?qū)⒁槐緯鴫涸谧雷由蠒r,你在彈簧或書中產(chǎn)生了壓縮應(yīng)力。壓縮應(yīng)力是一個“向內(nèi)”或“向心”的力,試圖使物體變小。

  2. 拉伸應(yīng)力(Tensile Stress):當一個力試圖拉長物體或擴展物體時,它在物體內(nèi)產(chǎn)生的應(yīng)力稱為拉伸應(yīng)力。例如,當你試圖拉伸一個橡皮筋或拉直一根線時,你在橡皮筋或線中產(chǎn)生了拉伸應(yīng)力。拉伸應(yīng)力是一個“向外”或“離心”的力,試圖使物體變大。
什么是熱膨脹系數(shù)(CTE)?熱膨脹系數(shù)(coefficient of thermal expansion,簡稱CTE)是一個用來衡量物質(zhì)隨溫度變化而發(fā)生體積或長度變化程度的物理量。具體來說,熱膨脹系數(shù)描述了每單位溫度改變時,物質(zhì)的體積或長度改變的百分比,單位是每攝氏度的倒數(shù)(1/°C)或每開爾文的倒數(shù)(1/K)。熱膨脹系數(shù)可以根據(jù)物質(zhì)的種類和溫度而不同,通常在固體材料中,熱膨脹系數(shù)的值較小,在氣體和液體中,熱膨脹系數(shù)的值較大。


熱應(yīng)力與熱膨脹系數(shù)的關(guān)系?
在芯片制造中,當兩種或多種具有不同熱膨脹系數(shù)(CTE)的材料被緊密結(jié)合在一起,溫度的變化可能會導(dǎo)致這些材料以不同的速率和量進行膨脹或收縮。因為這些材料是緊密結(jié)合的,就會在材料中產(chǎn)生熱應(yīng)力。具體來說,如果一種材料的CTE比另一種材料大,那么在加熱時,CTE大的材料將會試圖膨脹得更多。但是,因為它與CTE小的材料緊密結(jié)合,所以它不能自由地膨脹。這將在兩種材料的接觸面產(chǎn)生壓縮應(yīng)力。在冷卻過程中,情況將會相反,CTE大的材料將會試圖更快地收縮,這將在CTE大的材料中產(chǎn)生拉伸應(yīng)力,并在CTE小的材料中產(chǎn)生壓縮應(yīng)力。


因此,在設(shè)計和制造復(fù)合材料或多層結(jié)構(gòu)時,需要考慮各種材料的熱膨脹系數(shù),并采取措施來降低熱應(yīng)力。

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