螺桿真空泵是20世紀(jì)90年代初出現(xiàn)的一種理想的泵種，由于具有抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、泵腔內(nèi)無摩擦元件、能耗低、無廢液排放，以及運(yùn)行成本低等一系列優(yōu)點(diǎn)，在半導(dǎo)體、光伏、化工、制藥、石化、空間模擬、低壓風(fēng)洞等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

「干式螺桿真空泵的使用注意事項(xiàng)」如下：

1.螺桿真空泵背壓

螺桿真空泵通常的排氣壓力是大氣壓，在配用電機(jī)功率不變的情況下，最大允許背壓到0.3bar。

如果螺桿真空泵在高背壓下運(yùn)行，會造成抽速下降、極限真空變差、排氣溫度過高等問題。

2.進(jìn)氣溫度

螺桿真空泵進(jìn)氣溫度15℃~60℃，在此溫度范圍內(nèi)，泵可連續(xù)長期工作。進(jìn)氣溫度超出此范圍，需采取必要措施。

3.冷卻水溫度

注意冷卻水的溫度，冷卻水最高的允許溫度為32℃，但必須適當(dāng)加大冷卻水流量。

4.處理液體和固體的能力

螺桿真空泵的被抽氣體可以夾帶一定量的液體和微小顆粒。

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