探針臺指英文名“PROBER”，一種半導體檢測裝備，用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的晶圓測試環(huán)節(jié)。探針測試技術是指綜合運用高精度運動控制技術、連續(xù)精密步進技術、智能微觀對準技術、電性接觸控制技術，以實現(xiàn)半導體芯片測試的自動化、規(guī)模化生產(chǎn)。

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（1）晶圓探針臺

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晶圓探針臺是對未切割晶圓上的器件進行特性或故障檢測而使用的測試設備，主要應用在集成電路、分立器件領域。探針臺與測試機連接后，能自動完成對晶圓上全部裸芯片的電參數(shù)測試及功能測試。晶圓探針臺通過高精密四維平臺，微米級的定位精度，實現(xiàn)晶圓上PAD點與探針卡上的探針可靠接觸，從而實現(xiàn)對晶圓上裸芯片的測試，并將測試結果記錄或者標識標志點，在下道工序進行處理。

（2）晶粒探針臺

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晶粒探針臺是對晶圓劃片后的裸晶粒進行檢測的探針測試設備，主要應用于光電器件領域。由于晶圓劃片后晶粒位置會發(fā)生變化，晶粒探針臺需通過全掃描排序記錄每顆晶粒的具體位置，在測試時根據(jù)所記錄的位置運動與對應的探針接觸，并標記出測試結果。

半導體探針臺設備行業(yè)集中度較高，目前主要由國外廠商主導，行業(yè)呈現(xiàn)高度壟斷的競爭格局。從全球市場上看，東京精密、東京電子兩家公司占據(jù)全球約七成的市場份額；從中國大陸市場上看，2019年東京電子、東京精密、惠特科技、旺矽科技占據(jù)了74%的市場份額，中國大陸市場進口替代空間巨大。

中國探針臺市場競爭格局

資料來源：共研網(wǎng)整理

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目前，全球探針臺設備市場由東京電子、東京精密、旺矽科技、惠特科技等海外公司占據(jù)主導地位。

半導體探針臺設備主要企業(yè)

資料來源：共研網(wǎng)整理

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隨著國內(nèi)多個12寸晶圓廠的建立，快速激增了以探針臺測試設備為代表的市場需求，國內(nèi)探針臺市場一舉成為了全球增長最快的市場之一。

2018-2022年中國探針臺市場規(guī)模及預測

資料來源：共研網(wǎng)整理

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對于探針臺，晶圓尺寸增加導致探針的移動行程更大，而器件集成度提升的同時縮小了PAD尺寸，這又要求探針具備更高的操作精度（例如：目前晶粒的尺寸PAD約40μm，考慮到探針具有一定尺寸，實際允許的探針操作誤差僅為約5μm）。因此，隨著半導體工藝進步，探針臺也在向高精度方向發(fā)展以適應生產(chǎn)要求，高效、高精度定位已日漸成為探針測試設備的一項重要性能評價指標。

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更多本行業(yè)詳細的研究分析見共研網(wǎng)《2023-2029年中國探針臺市場全景調(diào)查與投資前景預測報告》，同時共研產(chǎn)業(yè)研究院還提供產(chǎn)業(yè)數(shù)據(jù)、產(chǎn)業(yè)研究、政策研究、產(chǎn)業(yè)鏈咨詢、產(chǎn)業(yè)圖譜、產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、可行性分析、商業(yè)計劃書、IPO咨詢等產(chǎn)品和解決方案。

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