在氣體管道工程中，特別是氫氣管道工程中，由于施工裝配等原因，管道之間的連接處會(huì)有一些肉眼差距不大的漏孔，導(dǎo)致泄漏和安全事故。特別是在半導(dǎo)體、集成電路等微電子行業(yè)輸送超高純電子氣體的氣體管道工程中，如果發(fā)生泄漏，將對(duì)生產(chǎn)安全產(chǎn)生很大影響，因此泄漏檢測(cè)非常重要。

在工藝上，對(duì)純度要求高的氣體一般需要氦檢，甚至氣體管道的泄漏率每秒10*e-只有10CC才能送氣，通常氣體泄漏率要求為1.0*e-9cc.atm/sec以上。

一、氣體管道密封氦檢漏規(guī)定一般如下：

氦檢漏儀應(yīng)采用質(zhì)譜氦檢測(cè)儀，其檢測(cè)精度不得低于1*10-10mbarr*l/s；

2、內(nèi)向測(cè)漏法測(cè)定的特氣系統(tǒng)泄漏率不得大于1*10-9mbarr*l/s;

3、閥座測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-6mbarr*l/s;

4、外向測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-6mbarr*l/s。

二、特種氣體管道氦檢漏注意事項(xiàng)：

1、氦泄漏檢測(cè)發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)修復(fù)后，應(yīng)重新進(jìn)行氣密性試驗(yàn)，合格后按規(guī)定進(jìn)行氦泄漏檢測(cè)。所有可能的泄漏點(diǎn)都用塑料袋隔離，系統(tǒng)試驗(yàn)結(jié)束后，應(yīng)充滿高純氮?dú)饣驓鍤獠⒋祾?，試?yàn)結(jié)束后，應(yīng)提交試驗(yàn)報(bào)告。

2、氦泄漏檢測(cè)的主要方法有：噴射法、吸入法、氦蓋法和背壓法。氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)儀具有操作簡(jiǎn)單、準(zhǔn)確可靠、安全高效、成本低、應(yīng)用廣泛等特點(diǎn)，氦分子非常小，僅次于氫，可檢測(cè)到非常小的泄漏點(diǎn)。

3、氦氣管道檢測(cè)也適用于氫氣管道檢測(cè)，采用氦質(zhì)譜檢漏儀正壓法檢測(cè)。具體檢測(cè)方法:在無橫風(fēng)的情況下，密封氦氣管道，留出檢漏口，先抽真空，再充入0.1Mpa壓力氦氮混合氣體，氦氮比例為1：10.靜置30分鐘，待氦氮混合氣體完全分布在管道中。用吸槍連接泄漏檢測(cè)儀后，可檢測(cè)連接口、焊縫等泄漏點(diǎn)。如果管道泄漏，氦將被吸槍吸入泄漏檢測(cè)儀，超過氦檢測(cè)儀的底值將自動(dòng)報(bào)警。只有依次檢查，直到整個(gè)管道檢測(cè)完畢，才能找到所有泄漏點(diǎn)。

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