國產(chǎn)光刻機(jī)——上海微電子產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)個(gè)股大全

（一）參股上海微電子

（1）張江高科：通過子公司上海張江浩成創(chuàng)業(yè)投資有限公司持有微裝公司10.779%的股權(quán)；投資上海微電子裝備、華勤通訊為代表的一批集成電路優(yōu)質(zhì)企業(yè)，實(shí)現(xiàn)“中國芯”國產(chǎn)光刻機(jī)的重大突破。

（2）上海電氣：持有上海微電子27%股權(quán)，為其第一大股東；國內(nèi)最大的，產(chǎn)品類別最齊全的印刷機(jī)械及相關(guān)設(shè)備的專業(yè)制造商，印刷包裝機(jī)械等產(chǎn)品國內(nèi)市場(chǎng)占有率第一。

（3）東方明珠：控股子公司間接持有超上海微電子股份；擁有中國規(guī)模最大、門類最齊、特色鮮明的內(nèi)容版權(quán)庫以及國內(nèi)最大的多渠道視頻集成與分發(fā)平臺(tái)，旗下數(shù)字營銷、主機(jī)游戲、電視購物、文化娛樂旅游等傳媒相關(guān)服務(wù)行業(yè)領(lǐng)先。

（二）上海微電子供應(yīng)商

（1）蘇大維格：向上海微電子提供半導(dǎo)體投影式光刻機(jī)光柵部件；核心能力和核心競(jìng)爭(zhēng)力是掌握了微納光刻、納米壓印和衍射光學(xué)的底層技術(shù)，是行業(yè)內(nèi)少數(shù)擁有微納結(jié)構(gòu)制造完整產(chǎn)業(yè)鏈的企業(yè)之一。

（2）海立股份：海立集團(tuán)與上海微電子裝備集團(tuán)雙方領(lǐng)導(dǎo)就項(xiàng)目合作、產(chǎn)品配套等內(nèi)容進(jìn)行深入探討。雙方以封裝光刻機(jī)得冷卻系統(tǒng)配套為起點(diǎn)，進(jìn)一步提升合作能級(jí)，逐步從零部件級(jí)供應(yīng)合作提升為系統(tǒng)級(jí)供應(yīng)合作。

（3）電科數(shù)字：在先進(jìn)制造領(lǐng)域，子公司柏飛電子為軌道交通龍頭企業(yè)提供信號(hào)控制產(chǎn)品，為半導(dǎo)體裝備生產(chǎn)商提供光刻機(jī)的控制器。

（4）富創(chuàng)精密：結(jié)構(gòu)零部件（基板、冷卻板等）多種產(chǎn)品應(yīng)用于光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備，主要客戶有上海微電子、芯源微。

（5）美埃科技：為上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司開發(fā)國內(nèi)首臺(tái) 28 納米光刻設(shè)備工藝制程所需的機(jī)臺(tái)內(nèi)國際最高潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)（ISO Class 1 級(jí)）潔凈環(huán)境提供 EFU （超薄型設(shè)備端自帶風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組）及 ULPA（超高效過濾器）等產(chǎn)品，助力國內(nèi)光刻機(jī)事業(yè)突破卡脖子技術(shù)難題。

（6）新萊應(yīng)材：光刻機(jī)的相關(guān)工藝需要在超高真空以及特殊氣體的條件下完成，真空產(chǎn)品的AdvanTorr品牌以及氣體產(chǎn)品的NanoPure品牌均可以應(yīng)用到光刻機(jī)的設(shè)備中，公司的客戶中已經(jīng)包含光刻機(jī)設(shè)備的制造商。

（7）茂萊光學(xué)：為光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)提供用于勻光、中繼照明模塊的光學(xué)器件、投影物鏡，以及用于工件臺(tái)位移測(cè)量系統(tǒng)的棱鏡組件，是光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)光線均勻性與曝光成像的關(guān)鍵模塊。

（8）炬光科技：多年來一直為半導(dǎo)體光刻應(yīng)用領(lǐng)域提供光刻機(jī)曝光系統(tǒng)中的核心激光光學(xué)元器件——光場(chǎng)勻化器（招股書中“光場(chǎng)勻化器——光刻應(yīng)用”），供應(yīng)給世界頂級(jí)光學(xué)企業(yè)A公司，最終應(yīng)用于全球高端光刻機(jī)生產(chǎn)商的核心設(shè)備。同時(shí)，公司與國內(nèi)在這一領(lǐng)域的研發(fā)單位有廣泛合作，公司的光場(chǎng)勻化器產(chǎn)品應(yīng)用于國內(nèi)主要光刻機(jī)研發(fā)項(xiàng)目和樣機(jī)中。