SEM表征檢測主要檢測什么？
SEM表征檢測可應(yīng)用于微觀形貌、顆粒尺寸、微區(qū)組成、元素分布、元素價態(tài)和化學(xué)鍵、晶體結(jié)構(gòu)、相組成、結(jié)構(gòu)缺陷、晶界結(jié)構(gòu)和組成等。
SEM一般通過組合EDS使用，可利用EDS進行元素成分定性、定量分析。用來觀測芯片內(nèi)部層次和測量各層厚度、觀測并拍攝局部異常照片和測量異常尺寸、測量芯片關(guān)鍵尺寸線寬和孔徑、定性和定量分析異常污 染物的化學(xué)元素組成。
SEM可以做的測試項目很多，以下是一些常見的測試項目：
表面形貌觀察：
SEM可以觀察各種材料的表面形貌，如金屬、陶瓷、聚合物、纖維和生物材料等。
微觀結(jié)構(gòu)分析：
SEM可以分析各種材料的微觀結(jié)構(gòu)，如晶體結(jié)構(gòu)、晶粒尺寸、纖維結(jié)構(gòu)等。
成分分析：
SEM可以用于分析材料的化學(xué)成分，如元素分析、化合物分析等。
表面化學(xué)性質(zhì)測試：
SEM可以測試材料的表面化學(xué)性質(zhì)，如表面活性、表面電荷等。
界面性質(zhì)測試：
SEM可以測試材料的界面性質(zhì)，如界面結(jié)構(gòu)、界面能量等。
電子顯微圖像分析：
SEM可以分析電子顯微圖像，如線條、點、區(qū)域等特征，從而獲得樣品的形貌、大小、分布等信息。
微納加工：
SEM可以進行微納加工，如光刻、電子束曝光、離子束雕刻等，從而制造出各種微納結(jié)構(gòu)。
SEM廣泛應(yīng)用于物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)、生物學(xué)等多個領(lǐng)域，主要用于表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)的觀察、分析和測試。
在物理學(xué)中，SEM常用于研究微觀結(jié)構(gòu)和物質(zhì)的性質(zhì)，如電子輸運、光電效應(yīng)等。
在化學(xué)領(lǐng)域中，SEM可用于研究表面反應(yīng)和材料結(jié)構(gòu)的改變，如催化反應(yīng)和化學(xué)吸附等。
在材料科學(xué)中，SEM可以用于研究材料的微觀結(jié)構(gòu)、形貌和組成，如金屬、陶瓷、聚合物和生物材料等。
在生物學(xué)中，SEM可用于研究細胞結(jié)構(gòu)、細菌、病毒和組織等微觀生物結(jié)構(gòu)的形態(tài)和組成。
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