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寶藏激光器——小談355nm紫外納秒激光器

2022-07-21 14:49 作者:納飛曉峰  | 我要投稿

紫外納秒激光器是指脈沖持續(xù)時(shí)間介于幾十到幾百納秒、輸出波長為紫外線的脈沖激光器,具有短波長、材料吸收率高、峰值功率高、熱效應(yīng)小、靈活性高等優(yōu)點(diǎn)。工業(yè)用以355nm紫外納秒激光器居多,廣泛應(yīng)用于超精細(xì)加工高端市場的材料切割、鉆孔、打標(biāo)、刻蝕。從食品、3C電子、半導(dǎo)體的精細(xì)打標(biāo)、切割、雕刻的應(yīng)用都可以見到紫外納秒激光器的身影。

因此,紫外納秒激光器成為近年來激光加工市場的耀眼明星,出貨量高速增長。據(jù)媒體報(bào)道,2015年我國紫外激光器出貨量2035臺(tái),2019年達(dá)到19000臺(tái),其中紫外納秒激光器出貨量17465臺(tái),占比92%。

耀眼的出貨數(shù)據(jù)背后,和紫外納秒激光器自身獨(dú)特的優(yōu)勢密不可分。

——冷加工

納飛光電355nm紫外激光器是一種產(chǎn)生紫外光束的激光器,其波長短,單光子能量高,作用在材料表面時(shí)能將直接破壞材料表面的分子鍵,這個(gè)過程不產(chǎn)生“熱損傷“和“熱破壞”即可實(shí)現(xiàn)材料的去除剝離,且對被加工區(qū)域的里層和周邊不產(chǎn)生加熱或熱變形,所加工出來的材料邊沿光滑,碳化程度非常低,配合20ns左右的超窄脈寬,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)所謂的“冷加工”。

——光斑小

由于紫外光易聚焦,紫外激光器優(yōu)異的光束質(zhì)量(M2<1.2)的聚焦光斑最小可達(dá)10um。極小的光斑有三方面的加工優(yōu)勢:一是能夠?qū)崿F(xiàn)非常精準(zhǔn)的加工位置;二是擁有較小的熱影響區(qū);三是線條更細(xì),通過微米級的精細(xì)光點(diǎn)可以獲得十分隱秘的微小標(biāo)記,帶來防偽和追溯功能。可以在非常細(xì)微的區(qū)域面積內(nèi)進(jìn)行標(biāo)記,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的識(shí)別與可追溯,還有利于防偽。

——吸收率高

大部分加工材料在紫外光波段的吸收率較高,因而常采用紫外激光器切割、劃刻玻璃、陶瓷、硅片、藍(lán)寶石等薄、硬、脆性材料,在冷加工的配合下,崩邊小,邊緣齊整,有著其他激光源所不具備的獨(dú)特優(yōu)勢;以及對薄膜類、塑料、FPC等對熱敏感材料進(jìn)行淺層激光打碼,標(biāo)記的對比度高,能獲得非常不錯(cuò)的加工效果。

——拓展性強(qiáng)

?隨著客戶應(yīng)用的不斷拓展,制造領(lǐng)域?qū)芗庸ひ蟛粩嘣龆啵瑢庸こ叽缇?、加工位置精度、加工邊緣等指?biāo)要求越來越高,同時(shí)高的吞吐量對紫外納秒激光器的效率和質(zhì)量要求頗高,此舉倒逼紫外激光器的不斷技術(shù)更新和快速發(fā)展,紫外納秒激光器朝著更高功率、更高重復(fù)頻率的方向發(fā)展。

如今,紫外激光器的功率從3W、5W到10W,20W以及30W以上,重復(fù)頻率也越來越高,可達(dá)上百KHz。隨著功率和重頻的提升,切割領(lǐng)域應(yīng)用也更加廣泛,適用于覆蓋膜、PCB板、薄片金屬以及硅晶圓等材料。相較于傳統(tǒng)切割工藝,激光切割更加靈活,在各種曲線、小角度、倒角的切割應(yīng)用上效率更高,切割邊緣品相好,無鋸齒現(xiàn)象,產(chǎn)品的良率也能得以提升。

在材料加工應(yīng)用上,紫外加工基本成為了精密冷加工的代名詞。隨著5G、新能源、顯示面板等新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,更高精度芯片、更高分辨率屏幕以及各種柔性材料的需求旺盛,催生了更多的商機(jī)。預(yù)計(jì)在未來,紫外激光器市場需求也將得到充分釋放,在更精密、對精度要求更高的應(yīng)用場景成為不可或缺的一股重要力量。

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