潔凈室是一種高度潔凈的環(huán)境，其主要用途是在制造過程中保證產(chǎn)品的質(zhì)量和穩(wěn)定性。在潔凈室中，滅菌是非常重要的一環(huán)，因為只有徹底滅菌，才能保證潔凈室內(nèi)的環(huán)境達到標準。

目前，萬級潔凈室主要采用的3種滅菌方法是紫外線燈滅菌、滅菌液氣體熏蒸和臭氧滅菌。

1. 紫外線燈滅菌

紫外線燈滅菌是一種比較常見的滅菌方法，其原理是利用紫外線的輻射殺死細菌和病毒。這種方法的優(yōu)點是操作簡單，不需要使用化學(xué)藥品，不會產(chǎn)生二次污染。但是，紫外線燈滅菌的缺點也比較明顯，它的穿透力比較小，紫外線照射不到的地方，滅菌效果不好。此外，紫外線燈滅菌的滅菌能力隨著使用時間的增加而減小，燈管壽命短，運行費用高，不作為終滅菌的方法。

2. 滅菌液氣體熏蒸

滅菌液氣體熏蒸是一種比較徹底的滅菌方法，其原理是利用化學(xué)藥品的氣體殺死細菌和病毒。這種方法的優(yōu)點是滅菌效果好，可以徹底殺死細菌和病毒。但是，滅菌液氣體熏蒸的缺點也比較明顯，操作麻煩，需要進行長時間的熏蒸，有二次污染物。滅菌后室內(nèi)殘留氣體單靠室內(nèi)局部設(shè)置的單機除塵和系統(tǒng)排風(fēng)，排風(fēng)時間長，殘留物附著在墻壁和設(shè)備上，需要擦除，在滅菌后的幾天內(nèi)，其懸浮粒子數(shù)會增加。

3. 臭氧滅菌

臭氧滅菌是一種比較新穎的滅菌方法，其原理是利用臭氧的氧化作用殺死細菌和病毒。這種方法的優(yōu)點是滅菌效果好，可以徹底殺死細菌和病毒。但是，臭氧滅菌在使用過程中需要注意，臭氧為強氧化劑，可使銅片出現(xiàn)綠色銹斑，使橡膠老化、變脆、斷裂，使織物漂白變色。另外臭氧滅菌作用受到pH、溫度、濕度的影響，空氣中臭氧濃度高于0.2mg/m3時對人體有一定傷害。

每種方法都有其優(yōu)點和缺點，需要根據(jù)實際情況選擇合適的滅菌方法。在滅菌過程中，需要注意操作規(guī)范，確保滅菌效果達到標準，保證潔凈室內(nèi)的環(huán)境達到要求。