干式螺桿真空泵是干式泵家族中的一員。所謂干式真空泵，在泵的抽氣流道中，不能使用任何油類和液體，排氣口與大氣相通，能直接連續(xù)向大氣中排氣的泵。

干式真空泵在抽氣流道內(nèi)無任何液態(tài)工作介質(zhì)或密封介質(zhì)，從根本上解決了油封式真空泵引發(fā)的各種問題。

干式螺桿真空泵出現(xiàn)于上世紀(jì)90年代初，由于它具有抽速范圍寬廣、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、泵腔內(nèi)無摩擦元件、能耗低、無廢液排放以及運(yùn)行成本低等一系列優(yōu)點(diǎn)，因而在半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)業(yè)、化工、制藥、石化、空間模擬、低壓風(fēng)洞等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

1在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。

2.在核工業(yè)中用于核反應(yīng)堆及核工業(yè)真空獲得，能夠抽除普通空氣，易燃易爆氣體和腐蝕性氣體，尤其能滿足對獲得清潔真空要求高的環(huán)境。

3石油化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取，高效回收溶劑，可大量抽除可凝性氣體，或腐蝕性氣體、有毒氣體、含微塵的氣體。

4.在脂肪酸生產(chǎn)中，用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物。

5.醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產(chǎn)提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑。

6.食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮、食品包裝等。

干式螺桿泵特點(diǎn)

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干式螺桿真空泵零部件少，沒有易損件，因此它運(yùn)轉(zhuǎn)可靠且壽命長，操作維護(hù)方便；

由于采用變螺距結(jié)構(gòu)，比等螺距螺桿可節(jié)省30%能耗，排氣溫度較低；

干式螺桿真空泵沒有不平衡的慣性力，機(jī)器可平穩(wěn)地高速運(yùn)行，噪聲低；

具有強(qiáng)制輸氣的特點(diǎn)，在寬廣的壓力范圍內(nèi)能保持較高的抽速，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響；

由于干式螺桿真空泵轉(zhuǎn)子齒面間留有微小間隙，因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體，微小顆粒不容易堆積，泵腔內(nèi)的剩余物也容易被清除。

干式螺桿泵的技術(shù)含量高，適合用在高純凈的真空工藝過程，其真空度極高，適應(yīng)惡劣工況的能力強(qiáng)。不同于其他類型的真空泵對含顆粒物的氣體較為敏感，干式螺桿泵可抽除可凝性和含顆粒物的氣體，且易做防腐處理。

相比于其他的傳統(tǒng)真空泵，干式螺桿真空泵更適合現(xiàn)在的新興行業(yè)，如半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、電子、核能等。

干式螺桿泵使用注意事項(xiàng)

螺桿真空泵背壓：螺桿真空泵通常的排氣壓力是大氣壓，在配用電機(jī)功率不變的情況下最大允許背壓到0.3barg。如果螺桿真空泵在高背壓下運(yùn)行，會(huì)造成抽速下降、極限真空變差、排氣溫度過高等問題。

進(jìn)氣溫度：螺桿真空泵進(jìn)氣溫度15℃～60℃，在此溫度范圍內(nèi)泵可連續(xù)長期工作；進(jìn)氣溫度超出此范圍則需采取必要措施。

冷卻水溫度：冷卻水是在冷卻水溫度為20℃下的流量，冷卻水最高的允許溫度為32℃，但必須適當(dāng)加大冷卻水流量。

處理液體和固體的能力：螺桿真空泵的被抽氣體可以夾帶一定量的液體和微小顆粒。

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