中真空抽氣機(jī)組

中真空機(jī)組的工作壓力范圍約在100Pa～0.1Pa之間，其常用的主泵有油增壓泵、機(jī)械增壓泵等，機(jī)組適用于需要大抽速和獲得低、高真空的各種真空系統(tǒng)中。

可廣泛用于鍍膜機(jī)、真空冶煉、真空熱處理、化工、醫(yī)藥、電工、焊接等行業(yè)。

1.羅茨泵－油封機(jī)械泵機(jī)組

圖1是以羅茨泵為主泵，油封機(jī)械泵為前級泵的中真空獲得設(shè)備，整套機(jī)組可安置在一個機(jī)架上，結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便。

可選擇ZJ型普通羅茨真空泵作為機(jī)組的主泵，也可選用帶旁通壓差閥的羅茨泵，前者須在系統(tǒng)被前級泵抽到羅茨泵允許的起動壓力時才能起動主泵工作。

后者由于羅茨泵帶旁通壓差閥，所以羅茨泵可在較高的入口壓力時運轉(zhuǎn)而不發(fā)生過載和過熱現(xiàn)象，因此主泵可以在前級泵工作后，根據(jù)系統(tǒng)的實際情況來決定它的起動壓力。對于小型機(jī)組，還可以兩泵同時起動，以加大抽速和縮短抽氣時間。

圖2為ZJ型羅茨泵加上水環(huán)泵機(jī)組，它適合抽除含有大量水蒸氣的氣體，如真空濃縮、真空干燥，特別適宜于弱酸氣體及含有少量細(xì)微粉塵氣體的抽除。

為了提高真空機(jī)組的抽氣性能，達(dá)到較低的極限壓力和改善在低入口壓力時的抽速特性及對大型真空機(jī)組配用較小規(guī)格的前級泵，可以組成由二個ZJ型羅茨泵串聯(lián)作為主泵的三級抽氣機(jī)組，如圖3、4所示。

圖5兩級ZJ型羅茨泵和一級水環(huán)泵（極限壓力P0=6700Pa）及氣鎮(zhèn)式油封機(jī)械泵聯(lián)合組成的真空機(jī)組，其極限壓力可達(dá)10-2Pa。

當(dāng)需要大量抽除水蒸汽時，關(guān)閉閥門8，用水環(huán)泵做粗抽泵和前級泵，當(dāng)水蒸汽分壓達(dá)到300~1300Pa后，關(guān)閉閥5，打開閥8，用氣鎮(zhèn)式機(jī)械泵做前級泵。

圖5 雙級羅茨泵加水環(huán)泵及油封機(jī)械泵復(fù)合機(jī)組：1-冷凝器? 2-ZJ600羅茨泵 3-ZJ150羅茨泵 4-粗抽泵 5-前級閥1 6-ZSK3水環(huán)泵 7-2H70滑閥泵 8-前級閥2

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