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半導(dǎo)體行業(yè)超純水去硼材料、除硼樹脂

2023-03-06 09:28 作者:安13367128839  | 我要投稿

半導(dǎo)體行業(yè)超純水去硼材料、除硼樹脂? ? 隨著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷發(fā)展,對清潔水的電導(dǎo)率、離子含量、TOC、do和顆粒物的要求越來越嚴(yán)格。由于超純水在許多指標(biāo)上對半導(dǎo)體的要求很高,因此半導(dǎo)體行業(yè)的超純水與其他行業(yè)的用水要求不同。半導(dǎo)體行業(yè)對超純水有極其嚴(yán)格的水質(zhì)要求。目前,我國常用的超純水標(biāo)準(zhǔn)有國家標(biāo)準(zhǔn)《電子級水》(GB/T 11446.1-2013)和美標(biāo)?! ≡诎雽?dǎo)體生產(chǎn)過程中,硼是一種p型雜質(zhì)。過量會使n型硅反轉(zhuǎn),從而影響電子和空穴的濃度。因此,在超純水工業(yè)中應(yīng)充分考慮硼的去除。硼離美標(biāo)中e1.3中要求小于0.05。如果硼離子含量能夠達到較低的指標(biāo),則必然會提高半導(dǎo)體的性能。


一、產(chǎn)品介紹
Tulsimer ?CH-99 硼選擇吸附樹脂
Tulsimer ? CH-99 是一款去除水溶液中硼及其鹽的選擇性離子交換樹脂。在一些化工工業(yè)以及農(nóng)業(yè)用水中,微量的硼或者硼鹽都可能是嚴(yán)重的問題。此種樹脂可以在較大的PH 范圍內(nèi)甚至有其他離子存在的溶液中有效的去除硼以及硼鹽,并且具有更多的數(shù)量。

隨著硼?業(yè)的發(fā)展及?們對?中硼污染問題的重視,?中硼的去除越來越引起?們的?泛關(guān)注。硼的去除?法有很多種,?前,采?離?交換提硼法是能滿?深度除硼要求的最佳?法,該?法主要?于低濃度硼溶液的除硼,需結(jié)合其他除硼?法進?整體凈化除硼。

CH-99除硼離?交換樹脂

離?交換樹脂都是?有機合成?法制成,通過在具有三維空間?體?絡(luò)結(jié)構(gòu)的?架上導(dǎo)?不同類型的功能活性基團?制成。CH-99樹脂具有與硼能夠?成絡(luò)合物的功能基團多羥基胺(Polyhydroxy amine),?架為?種苯?烯和??烯苯交聯(lián)的樹脂,多羥基能夠與硼絡(luò)合,達到選擇性吸附硼的?的。CH-99樹脂具有吸附速度?和吸附能?強等特點,可降低整體使?成本、綜合經(jīng)濟效益尤為顯著,尤其適合作低濃度環(huán)境下硼元素的?速吸附材料。


離?交換法的機理是利?離?交換樹脂上的功能基團與?標(biāo)離?發(fā)?交換反應(yīng),從?達到分離濃縮的?的。CH-99離?交換樹脂這種化學(xué)結(jié)構(gòu)在官能團中具有多羥基部分與硼之間?成絡(luò)合陰離?,其胺基部分作為陰離?交換基捕捉?成的絡(luò)合陰離?,從?選擇吸附硼離?。CH-99樹脂不受?量共存鹽類的影響,其反應(yīng)對pH值很敏感,絡(luò)合離?只有在中性或堿性溶液?才能?成,在酸性溶液?絡(luò)合離?分解。

樹脂除硼效果主要影響因素

離?交換樹脂的除硼效果主要受?中其他離?、樹脂粒徑等因素的影響。

1、鈉和氯離?的存在不會對CH-99樹脂的硼吸附性能產(chǎn)?太?的影響,Na2SO4和CaCl2的存在會影響樹脂的硼吸附性能。

2、粒徑的減?可提供更?的吸附表?積,減少樹脂的?量。由于顆粒越?,硼酸的擴散速度越快,因此顆粒越?除硼率越?。

樹脂除硼技術(shù)應(yīng)?及再?處理

1、硼的聯(lián)合分離法先?其他?法(如吸附法)作為前置處理,以去除溶液中?部分硼,再?離?交換法去除剩余的少量硼,此?法降低了樹脂的?作量及成本,同時利?離?交換分離硼的?效性,有利于?規(guī)模?業(yè)化硼的分離。硼的聯(lián)合分離法是其他單個分離?法所具備優(yōu)點的集合。

2、再?處理吸附飽和后的樹脂須經(jīng)過再?才能再次使?,通常是將其?硫酸或鹽酸洗脫,經(jīng)蒸餾?洗滌后,?氫氧化鈉進?再?,最后再經(jīng)蒸餾?洗滌即完成再?過程。



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