TEM測(cè)試原理
在制備透射電子顯微鏡(TEM測(cè)試)薄膜樣品時(shí),科學(xué)指南針檢測(cè)平臺(tái)工作人員在與很多同學(xué)溝通中了解到,大多數(shù)同學(xué)沒(méi)有太好的處理薄膜樣品的方法,針對(duì)此,科學(xué)指南針檢測(cè)平臺(tái)團(tuán)隊(duì)組織相關(guān)同事對(duì)網(wǎng)上海量知識(shí)進(jìn)行整理,希望可以幫助到科研圈的伙伴們;
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TEM工作原理
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透射電鏡,通常采用熱陰極電子槍來(lái)獲得電子束作為照明源。
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熱陰極發(fā)射的電子,在陽(yáng)極加速電壓的作用下,高速穿過(guò)陽(yáng)極孔,然后被聚光鏡會(huì)聚成具有一定直徑的束斑照到樣品上。
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具有一定能量的電子束與樣品發(fā)生作用,產(chǎn)生反映樣品微區(qū)厚度、平均原子序數(shù)、晶體結(jié)構(gòu)或位向差別的多種信息。
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透過(guò)樣品的電子束強(qiáng)度(取決于上述信息),經(jīng)過(guò)物鏡聚焦放大在其像平面上形成一幅反映這些信息的透射電子像,經(jīng)過(guò)中間鏡和投影鏡進(jìn)一步放大,在熒光屏上得到三級(jí)放大的最終電子圖像,還可將其記錄在電子感光板或膠卷上。
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透鏡電鏡和普通光學(xué)顯微鏡的光路是相似的。
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