美國(guó)拉攏荷蘭和日本，加大對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體的限制，終于荷蘭率先做出表態(tài)，加3款DUV光刻機(jī)，目前只有最老型號(hào)可以購(gòu)買。

日本貌似一直沒(méi)有什么反應(yīng)，不過(guò)近期，有業(yè)界消息傳出，日本某光刻膠大廠，已經(jīng)執(zhí)行美國(guó)“實(shí)體清單”的限制要求，對(duì)我國(guó)的某存儲(chǔ)大廠斷供KrF光刻膠。

日本在光刻膠領(lǐng)域，處于壟斷地位。例如，東京電子、JSR、富士等幾個(gè)主要的日本企業(yè)，占據(jù)了全球中高端光刻膠超80%的市場(chǎng)份額。

那么問(wèn)題來(lái)了，如果日本徹底斷供光刻膠，國(guó)產(chǎn)光刻膠能頂上嗎？

2019年7月，日本限制對(duì)韓出口氟化聚酰亞胺、光刻膠、氟化氫三種關(guān)鍵芯片材料。此舉導(dǎo)致韓國(guó)在光刻膠領(lǐng)域奮起直追，韓國(guó)的東進(jìn)半導(dǎo)體一直發(fā)展EUV光刻膠，并最終將韓國(guó)本土生產(chǎn)的EUV光刻膠應(yīng)用于三星產(chǎn)線。

這給了我們很多啟示，也說(shuō)明高端光刻膠的研發(fā)，并非“難事”。

而且，資本市場(chǎng)的表現(xiàn)也證明了一點(diǎn)，國(guó)外光刻膠限制供應(yīng)，光刻膠的國(guó)產(chǎn)化替代將會(huì)進(jìn)一步提速，國(guó)內(nèi)光刻膠行業(yè)也將會(huì)迎來(lái)機(jī)會(huì)。所以在相關(guān)消息披露之后，A股光刻膠板塊連續(xù)大漲。

光刻膠按照應(yīng)用領(lǐng)域的不同，可以分為PCB光刻膠、顯示用光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠。其中，半導(dǎo)體光刻膠的研發(fā)門檻最高，也是目前遭到卡脖子的領(lǐng)域。

中游的PCB光刻膠和LCD光刻膠我國(guó)與國(guó)外技術(shù)相差不大，在中低端產(chǎn)品占據(jù)主導(dǎo)地位。PCB光刻膠用于印刷線路板的圖案化工藝，顯示光刻膠用于平板顯示、顯示器、LCD彩色濾波片制作等光刻工藝中。

按曝光波長(zhǎng)不同來(lái)看，半導(dǎo)體光刻膠可分為g線（436nm）、i線（365nm）、KrF(248nm)、ArF(193nm)以及EUV光刻膠(13.5nm)，其中Duv光刻機(jī)主要使用KrF和ArF兩種，可以覆蓋0.25μm-7nm工藝制程。

光刻膠領(lǐng)域，尤其是中高端市場(chǎng)，被美日韓企業(yè)基本壟斷，國(guó)產(chǎn)光刻膠的市場(chǎng)份額較為有限，但已經(jīng)取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步。

例如：

晶瑞電材的KrF光刻膠通過(guò)部分重要客戶測(cè)試，批量供應(yīng)，ArF光刻膠研發(fā)工作正有序開(kāi)展。

2021年6月，上海新陽(yáng)自主研發(fā)的KrF光刻膠產(chǎn)品已通過(guò)客戶認(rèn)證，并成功取得第一筆訂單，隨后進(jìn)入批量化生產(chǎn)和銷售。同時(shí)，ArF光刻膠單體產(chǎn)品已量產(chǎn)。

徐州博康已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了KrF、ArF的量產(chǎn)供貨，擁有完備的光刻膠自供應(yīng)鏈，此前哈勃投資曾投資了3億元。

南大光電在2021年就已經(jīng)實(shí)現(xiàn)在下游客戶存儲(chǔ)芯片50nm和邏輯芯片55nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)上通過(guò)認(rèn)證，成為國(guó)內(nèi)通過(guò)客戶驗(yàn)證的第一只國(guó)產(chǎn)ArF光刻膠，實(shí)現(xiàn)少量供貨。

北京科華已實(shí)現(xiàn)KrF光刻膠大批量穩(wěn)定供貨。

在EUV光刻膠方面，上海新陽(yáng)的EUV光刻膠已經(jīng)處于研發(fā)階段。北京科華的02專項(xiàng)已經(jīng)通過(guò)驗(yàn)收驗(yàn)收。不過(guò)因?yàn)闆](méi)有EUV光刻機(jī)，所以EUV光刻膠的研發(fā)過(guò)程會(huì)比較麻煩。

其實(shí)除了技術(shù)上的問(wèn)題，光刻膠還有一些比較特殊的情況，并非哪個(gè)企業(yè)能生產(chǎn)出來(lái)什么光刻膠，就能賣掉那么簡(jiǎn)單。

光刻膠產(chǎn)品一旦選用，晶圓廠是不會(huì)輕易更換的，因?yàn)檫@涉及到繁瑣的驗(yàn)證過(guò)程，需要不斷的送樣、改進(jìn)，需要雙方配合，甚至來(lái)回反復(fù)幾十次，想要完成最終光刻膠的導(dǎo)入，需要6-24個(gè)月的時(shí)間，這就導(dǎo)致光刻膠企業(yè)與客戶之間的粘性極強(qiáng)，一旦合作，很難更換，這也是國(guó)產(chǎn)光刻膠發(fā)展道路上的一個(gè)困難。

總結(jié)的來(lái)說(shuō)，國(guó)產(chǎn)KrF已經(jīng)可以批量化生產(chǎn)，ArF有企業(yè)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)突破，有少量企業(yè)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，還有企業(yè)正在驗(yàn)證。

但是日本的限制已經(jīng)開(kāi)始，沒(méi)準(zhǔn)以后或加大力度，所以不論有多大的困難，國(guó)產(chǎn)光刻膠這種核心原材料必須實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代，尤其是在中高端方面。

目前，國(guó)外廠商占據(jù)國(guó)內(nèi)高端光刻膠市場(chǎng)大部分份額，其中G/I線國(guó)產(chǎn)化率10%，高端KrF、ArF國(guó)產(chǎn)化率不足5%。一旦斷供，國(guó)內(nèi)晶圓廠或?qū)⒚媾R無(wú)法開(kāi)工的局面。所以在這次日本行動(dòng)之后，國(guó)內(nèi)各家晶圓大廠為了長(zhǎng)遠(yuǎn)考慮，或?qū)⒅鲃?dòng)甚至被動(dòng)的快速導(dǎo)入國(guó)產(chǎn)光刻膠，以實(shí)現(xiàn)一定的國(guó)產(chǎn)化替代，所以國(guó)內(nèi)光刻膠企業(yè)正在迎來(lái)新的發(fā)展良機(jī)。