什么時(shí)候需要進(jìn)行全譜分析（XPS survey）？全譜分析的目的是什么？

全譜分析一般用來(lái)說(shuō)明樣品中是否存在某種元素。比較極端的，對(duì)于某一化學(xué)成分完全未知的樣品，可以通過(guò)XPS全譜分析來(lái)確定樣品中含有哪些元素（H和He除外）。全譜分析主要看峰的有無(wú)，進(jìn)而確定是否存在該元素。

全譜分析有何不足之處？

全譜分析所得到的信號(hào)比較粗糙，只是對(duì)元素進(jìn)行粗略的掃描，確定元素有無(wú)以及大致位置。對(duì)于含量較低的元素而言，信噪比很差，不能得到非常精細(xì)的譜圖。通常，全譜分析只能得到表面組成信息，得不到準(zhǔn)確的元素化學(xué)態(tài)和分子結(jié)構(gòu)信息等。

所測(cè)窄譜元素，含量比為啥跟預(yù)期不符？

這種問(wèn)題可能有好幾種情況，首先可能是樣品表面被污染，檢測(cè)到了污染物的成分，就與預(yù)期的元素不符合，也有可能是樣品分布不均勻?qū)е聹y(cè)試的范圍中沒(méi)有測(cè)到某個(gè)元素，導(dǎo)致了測(cè)試過(guò)程中出現(xiàn)于預(yù)期不符合的情況，XPS是半定量分析，和元素的實(shí)際含量會(huì)有出入，數(shù)據(jù)代表的是樣品表面的元素分布，并不代表材料整體的性能。

XPS測(cè)出來(lái)的數(shù)據(jù)使用前有必要平滑處理么？如果平滑的話會(huì)不會(huì)造成某些特征峰的減弱甚至消失呢？那么平滑幾次合適呢？

首先不建議進(jìn)行平滑處理，因?yàn)槠交幚砜赡軙?huì)導(dǎo)致譜圖失真，例如譜峰強(qiáng)度或形狀發(fā)生變化。如果發(fā)現(xiàn)譜圖信噪很差，建議調(diào)整測(cè)試參數(shù)（如提高Pass energy或者增加測(cè)試時(shí)間等）來(lái)提高信噪比。

問(wèn)XPS半定量處理時(shí)，元素測(cè)試了不同軌道的譜圖，定量以哪個(gè)為準(zhǔn)？

定量是以元素的特征軌道譜圖為準(zhǔn)，如果存在多個(gè)軌道，切忌重復(fù)計(jì)算；若不同元素間軌道有重合，一般需要掃一下元素的非特征軌道來(lái)計(jì)算含量。

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