1.樣品精細(xì)譜掃出譜峰？為什么全譜里沒(méi)有呢？

????????全譜主要是用來(lái)定性分析的，設(shè)置參數(shù)的步長(zhǎng)比較大，含量低的在全譜里掃不出譜峰。但是精細(xì)譜掃出譜峰就表示有該元素。

2.每種元素的檢測(cè)限一樣么？

????????不一樣。每種元素的主峰的靈敏度因子都不一樣。

3.怎么判斷擬合是好是壞，是擬合了兩個(gè)峰算好還是擬合了三個(gè)峰算好？

????????看波動(dòng)大小，越小越好；還要看對(duì)應(yīng)的物理意義。波動(dòng)如下圖所示。具體擬合幾個(gè)峰，要參考樣品本身的情況，以及擬合的貼合度，沒(méi)有嚴(yán)格的界定哪個(gè)更好。

4.什么叫荷電校正？為什么需要進(jìn)行荷電校正？

????????當(dāng)用XPS測(cè)量絕緣體或者半導(dǎo)體時(shí)，由于光電子的連續(xù)發(fā)射而得不到電子補(bǔ)充，使得樣品表面出現(xiàn)電子虧損，這種現(xiàn)象稱(chēng)為“荷電效應(yīng)”。荷電效應(yīng)將使樣品表面出現(xiàn)一穩(wěn)定的電勢(shì)Vs，對(duì)電子的逃離有一定束縛作用。因此荷電效應(yīng)將引起能量的位移，使得測(cè)量的結(jié)合能偏離真實(shí)值，造成測(cè)試結(jié)果的偏差。在用XPS測(cè)量絕緣體或者半導(dǎo)體時(shí)，需要對(duì)荷電效應(yīng)所引起的偏差進(jìn)行校正（荷電校正的目的），稱(chēng)之為“荷電校正”。

5.如何進(jìn)行荷電校正？

????????最常用的，人們一般采用外來(lái)污染碳的C1s作為基準(zhǔn)峰來(lái)進(jìn)行校準(zhǔn)。以測(cè)量值和參考值(284.8 eV)之差作為荷電校正值(Δ)來(lái)矯正譜中其他元素的結(jié)合能。?

????????具體操作：1) 求取荷電校正值：C單質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)峰位(一般采用284.8 eV)-實(shí)際測(cè)得的C單質(zhì)峰位=荷電校正值Δ；2)采用荷電校正值對(duì)其他譜圖進(jìn)行校正：將要分析元素的XPS圖譜的結(jié)合能加上Δ，即得到校正后的峰位（整個(gè)過(guò)程中XPS譜圖強(qiáng)度不變）。 將校正后的峰位和強(qiáng)度作圖得到的就是校正后的XPS譜圖。

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