光刻機(jī)的原理是什么？為何14納米技術(shù)壁壘至今無法逾越？
國內(nèi)支撐90nm工藝的DUV光刻機(jī)是干式光刻機(jī)，不是浸潤式DUV
圖4為國內(nèi)還正在測試浸潤式DUV
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