上海微電子產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)標(biāo)的

1）參股上海微電子：

張江高科：通過全資子公司上海張江浩成創(chuàng)業(yè)投資有限公司持有上海微電子14.21%股權(quán)。另外，公司旗下微裝公司是國(guó)內(nèi)唯一一家研發(fā)、生產(chǎn)以及銷售高端光刻機(jī)的企業(yè)，也是全球第四家生產(chǎn)IC前道光刻機(jī)的企業(yè)。在先進(jìn)封裝光刻機(jī)等領(lǐng)域，其國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率超過80%，全球市場(chǎng)占有率為40%。 東方明珠：通過上海泰力產(chǎn)業(yè)投資管理有限公司間接持有約2%股權(quán)。 2）上海微電子供應(yīng)商： 福晶科技：在光刻機(jī)零部件中，KBBF晶體主要用來制造深紫外激光器，而光刻機(jī)就是深紫外激光器的高端應(yīng)用市場(chǎng)。公司生產(chǎn)的KBBF晶體是光刻機(jī)的重要的上游原材料！KBBF晶體是國(guó)防和民用市場(chǎng)上都無法或缺的重要技術(shù)。 蘇大維格：公司向上海微電子提供了光刻機(jī)用的定位光柵產(chǎn)品，該器件是該公司光刻機(jī)產(chǎn)品的重要部件。 奧普光電：中科院長(zhǎng)光學(xué)所持股公司42.4%的股權(quán)，非常有希望在國(guó)產(chǎn)高端光刻機(jī)上實(shí)現(xiàn)突破。其研制的國(guó)內(nèi)第一套EUV光刻原理裝置，實(shí)現(xiàn)了EUV光刻的原理性貫通。 炬光科技：間接供貨光刻機(jī)巨頭ASML。光刻領(lǐng)域，公司為客戶提供光刻機(jī)曝光系統(tǒng)中的核心激光光學(xué)元器件光場(chǎng)勻化器，是荷蘭ASML光學(xué)設(shè)備核心供應(yīng)商的重要供應(yīng)商。 麥克迪奧：國(guó)望光學(xué)和科益虹源（國(guó)內(nèi)第一，世界第三，供貨上海微電子）都是亦莊旗下公司。截止目前亦莊唯一控股的上市公司是麥克奧迪（稀缺唯一性）。麥克奧迪主業(yè)光學(xué)鏡頭實(shí)錘供貨光刻機(jī)。市場(chǎng)預(yù)期亦莊同一控制下企業(yè)進(jìn)行重組：國(guó)望光學(xué)和科益虹源+麥克奧迪光刻機(jī)光學(xué)鏡頭供應(yīng)商。 茂萊光學(xué)（688502）：我國(guó)的茂萊光學(xué)的DUV光學(xué)透鏡已經(jīng)在給上海微電子供貨。 富創(chuàng)精密：富創(chuàng)精密：國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備零部件龍頭，全球?yàn)閿?shù)不多的能夠?yàn)?納米工藝制程半導(dǎo)體設(shè)備批量提供精密零部件的廠商，公司已進(jìn)入全球光刻機(jī)龍頭ASML供應(yīng)鏈體系，已切入上海微電子等國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠。 金力泰：全資子公司上海金杜是上海微電子的合格供應(yīng)商，向其提供應(yīng)用于其產(chǎn)品零部件的表面處理服務(wù)； 藍(lán)英裝備：公司控股子公司UCMAG為荷蘭光刻機(jī)制造商ASML提供精密清洗解決方案。 海立股份：2021年10月26日，海立集團(tuán)與上海微電子裝備集團(tuán)舉行戰(zhàn)略合作協(xié)議簽約儀式。值得注意的是海立集團(tuán)與上海微電子同屬上海電氣集團(tuán)。

光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)崂?/p>

一、整機(jī) 1、上海微電子 張江高科：持股上海微電子10.779%的股份 上海電氣：母公司為上海微電子第一大股東 2、長(zhǎng)春光機(jī)所 奧普光電：長(zhǎng)春光機(jī)所為公司實(shí)際控制人 二、部件 1、光源 波長(zhǎng)光電：光刻機(jī)平行光源系統(tǒng) 福品科技：提供激光器上的KBFF晶體，中科院旗下 茂萊光學(xué)：精密光學(xué)器件已應(yīng)用于國(guó)產(chǎn)光刻機(jī) 2、光學(xué)器件 蘇大維格：向上海微電子提供光刻機(jī)用的定位光柵產(chǎn)品 炬光科技：提供光刻機(jī)曝光系統(tǒng)里面核心元器件光場(chǎng)勻化器 騰景科技：多波段合分束器已進(jìn)入微電子供應(yīng)鏈 京華激光：控股美國(guó)公司在光刻機(jī)微結(jié)構(gòu)光學(xué)方面實(shí)力較強(qiáng) 3、空氣凈化 美?？萍迹禾峁┳罡邼崈舻燃?jí)標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)備，國(guó)外企業(yè)供應(yīng)商白名單 4、物鏡 賽微電子：光刻機(jī)廠商的MEMS透鏡部件供應(yīng)商 5、結(jié)構(gòu)件 富創(chuàng)精密：半導(dǎo)體零部件營(yíng)收規(guī)模A股第一，為12.9億 新萊應(yīng)材：半導(dǎo)體零部件營(yíng)收規(guī)模A股第二，為7.1億 金力泰：超微弧氧化技術(shù)可應(yīng)用于光刻機(jī)設(shè)備零部件的表面處理，子公司是上海微電子供應(yīng)商 電科數(shù)字：子公司可供貨光刻機(jī)控制器