現(xiàn)有的晶圓廠存儲晶圓傳送盒所使用的貨架大多采用普通的貨架，無法根據(jù)貨架貨位的狀態(tài)合理安排晶圓傳送盒的存放，對于晶圓傳送盒內(nèi)晶圓批次信息更是查找不方便，再加上晶圓傳送盒在人為的搬運(yùn)過程中存在盲區(qū)，難以對晶圓信息溯源。

而科智立推出應(yīng)用在半導(dǎo)體電子貨架上的RFID讀寫器JY-V620系列，基于RFID無線射頻識別技術(shù)，能夠?qū)﹄娮迂浖苌系陌雽?dǎo)體晶圓傳送盒進(jìn)行實(shí)時(shí)的監(jiān)測，并將讀取晶圓傳送盒內(nèi)的晶圓信息自動(dòng)上傳到管理系統(tǒng)，只需在PC端上查找，即可知道相應(yīng)晶圓的批次信息與所處的位置信息。

在每個(gè)電子貨架的存儲位底部安裝一臺RFID讀寫器，當(dāng)晶圓傳送盒放置到存儲位時(shí)，RFID讀寫器JY-V620會(huì)通過紅外線感應(yīng)晶圓傳送盒，觸發(fā)天線讀取RFID標(biāo)簽的資料并傳輸給上位機(jī)，以獲得晶圓傳送盒進(jìn)入/取出電子貨架的時(shí)間、晶圓傳送盒內(nèi)晶圓批次等信息，便于工作人員能夠在系統(tǒng)端快速查到晶圓傳送盒此時(shí)的狀態(tài)信息。