潔凈室是指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓差、噪聲等參數(shù)都需要進(jìn)行控制的密閉空間。許多精密加工行業(yè)、半導(dǎo)體、芯片、醫(yī)學(xué)手術(shù)室、電子設(shè)備、航天、制藥、生物實(shí)驗(yàn)室行業(yè)等都需要潔凈室。比如醫(yī)學(xué)行業(yè)主要是為了防止病菌、細(xì)菌、灰塵對病人手術(shù)過程中造成感染；溫濕度對于精密儀器儀表有很大影響。

半導(dǎo)體制造潔凈室對溫濕度的要求一般是溫度處于22-28℃ ，濕度在30-50 RH（%）之間。潔凈室運(yùn)作過程中對相對濕度環(huán)境控制尤為常見。因?yàn)橄鄬穸葧崈羰铱傮w表現(xiàn)下降有較大影響，比如加速細(xì)菌繁殖；人體舒適感不佳，人的汗液可能污染半導(dǎo)體產(chǎn)品；出現(xiàn)靜電荷；加快金屬腐蝕生銹；水汽冷凝污染半導(dǎo)體表面的清潔度；光刻的退化；影響光刻膠附著能力等。

因此，對于半導(dǎo)體潔凈室的溫濕度控制尤為重要?，F(xiàn)在的半導(dǎo)體潔凈室系統(tǒng)都會安裝溫濕度監(jiān)控器嚴(yán)格控制溫濕度、安裝塵埃粒子監(jiān)控器，監(jiān)測空氣潔凈度和安裝壓差監(jiān)控器監(jiān)控壓差情況等，實(shí)時(shí)監(jiān)測、報(bào)警指示。

不同的潔凈室對于溫濕度的要求不同的，主要是根據(jù)加工使用的產(chǎn)品本身的特性來考量。但是有一點(diǎn)，溫濕度不管在任何行業(yè)，作為一個(gè)環(huán)境因素發(fā)揮著重要的影響力。我們總是運(yùn)用各種手段進(jìn)行溫濕度數(shù)據(jù)監(jiān)控，以便達(dá)到我們的理想狀態(tài)。