? ? ?高低溫探針臺系統(tǒng)達到≤10Pa即可進行低溫測試而無凝露或結(jié)霜。對于選用了入門級配置的用戶，可選用雙極旋片式機械泵即可達到目標真空度，從而減少設備的配置預算。對于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對系統(tǒng)進行抽真空。低溫探針臺系統(tǒng)可#達10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測試要求。

精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為30*30mm，臺面最高可升溫到最高400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。該腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用軍工級別真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針頂尖處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。

為了減少泵組的振動，我們還專門為用戶設計了隔振器，地衰減泵組工作時產(chǎn)生的振動，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定，減少探針的漂移。