生產設備的平面布局也是電子潔凈廠房設計的重要內容。電子潔凈廠房無塵車間形式一般有隧道式(或稱港灣式)、開放式、島形布置等。據(jù)調查表明，集成電路芯片制造用潔凈室一般采用隧道式和開放式，其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠，生產設備橫跨潔凈生產區(qū)和設備維護區(qū)，潔凈生產區(qū)對潔凈度要求嚴格，而設備維護區(qū)的空氣潔凈度等級相對較低。

目前8英寸、12英寸芯片制造工廠普遍采用“開放式潔凈室加微環(huán)境”的方式，將芯片制造過程對空氣潔凈度要求十分嚴格的硅片加工過程(1-4 級)布置在微環(huán)境裝置內，而開放式潔凈室的潔凈度等級只需 5-6 級，這種潔凈室形式既可實現(xiàn)設備布置的靈活性，又能減少建設投資、降低能耗和運行費用。

　　工作人員是潔凈室內塵埃微粒的主要來源。在工藝設計中，一方面應該盡量選擇自動化程度較高的生產及運輸設備以便減少潔凈室內的人員數(shù)量，另一方面，也應該根據(jù)潔凈室內不同的潔凈區(qū)域，合理地設計工作人員的行走路線和原材料、成品的運輸路線以盡可能地減少交叉污染。

　　另外，由于電子產品更新?lián)Q代快在電子工廠的實際生產中在線維修及調試、邊生產邊增加設備的情況很多，因此在進行工藝布局時應根據(jù)具體情況，考慮這些因素，留出相應的運作空間

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