書(shū)籍：《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》

文章：電流耦合效應(yīng)的定義

編號(hào)：JFKJ-21-119

作者：炬豐科技

摘要

? 縫隙腐蝕的電偶性質(zhì)是一個(gè)普遍接受的概念，但直到最近才真正研究耦合電化學(xué)行為及其在縫隙腐蝕中的作用。在許多關(guān)于縫隙腐蝕機(jī)理的爭(zhēng)論中，能否合理解釋縫隙腐蝕的形狀，表明是否對(duì)縫隙中涉及的物理過(guò)程有深刻的理解。

? 基于對(duì)縫隙腐蝕研究的最新技術(shù)的批判性回顧，然后提出了研究電偶效應(yīng)在縫隙腐蝕中作用的必要性。開(kāi)發(fā)了具有 IR 壓降的均勻陽(yáng)極/陰極對(duì)的概念。結(jié)果表明，電偶耦合效應(yīng)可能在縫隙腐蝕中起重要作用。對(duì)于具有 IR 壓降的均勻陽(yáng)極/陰極對(duì)，耦合電位/電流關(guān)系是陽(yáng)極和陰極動(dòng)力學(xué)的函數(shù)。發(fā)現(xiàn)當(dāng)陽(yáng)極環(huán)境侵蝕性超過(guò)一定值時(shí)，整個(gè)過(guò)程由陽(yáng)極控制轉(zhuǎn)變?yōu)殛帢O控制，因此陽(yáng)極溶解速率顯著提高。使該過(guò)程復(fù)雜化的是不可避免地存在的 IR 壓降，該壓降在發(fā)生陽(yáng)極到陰極控制轉(zhuǎn)變時(shí)會(huì)增加。這種增加的 IR 降是陽(yáng)極溶解增加的結(jié)果，另一方面又阻礙了陽(yáng)極溶解的進(jìn)一步增加。

? 本文講述了模型腐蝕縫隙的實(shí)驗(yàn)方面，裂縫內(nèi)局部解決方案的侵略性，電極動(dòng)力學(xué)作為溶液侵蝕性的函數(shù)，?縫隙內(nèi)攻擊深度剖面圖等。