真空泵發(fā)展到迄今為止，許多真空泵都是用油、水銀、水、水蒸汽或其它聚合物等流體在泵的內(nèi)部起著工作介質(zhì)、冷卻、密封、潤滑等多種作用。

啟用上述流體后，使抽氣成為可能，或降低了極限壓強(qiáng)，或提高了抽速，或延長了泵的壽命，或降低了成本，或提高了質(zhì)量?？傊葷M足了結(jié)構(gòu)要求，又提高了技術(shù)性能。

隨著科技進(jìn)步，對真空認(rèn)識的提高，不僅要求被抽真空室的極限壓強(qiáng)，有效抽速，而且也要求殘余氣體的成份。系統(tǒng)中殘余氣體的成份，不僅取決于系統(tǒng)內(nèi)的因素，也取決于所使用的真空泵的流體的返流成份。

這種返流在大多數(shù)情況下產(chǎn)生更有害的影響—如影響制品的質(zhì)量和數(shù)量、安全、維護(hù)成本等。于是泵內(nèi)的流體又產(chǎn)生了不可忽視的副作用。

克服這種副作用，最好就是在泵內(nèi)沒有液體，作成干式泵。約在十多年到二十多年前，生產(chǎn)了低溫泵，濺射離子泵，吸附泵等，在抽氣氣路中泵內(nèi)無液體的蒸汽返流，成為干式真空泵。以下簡要介紹了干式真空泵的必要性。

對普通的無油真空抽氣來說，雖然也可用油旋轉(zhuǎn)真空泵加上冷凝阱或吸附阱之類附件來防止返油，但不能徹底解決問題，而且顯得累贊，并且還要定期換油，甚至在未加改造的油旋轉(zhuǎn)泵中每三天要換一次油。

增加了操作，增加了使用成本，增加了停機(jī)時(shí)間，而且還要在抽大氣時(shí)（大容積系統(tǒng)剛開始抽氣時(shí)往往是這樣），因要防止噴油而有意限制進(jìn)氣壓強(qiáng)，故而不能充分發(fā)揮泵的抽氣效率。

有的泵是使用氟聚醚來代替油，雖然不要或少要附件，但也存在返流（不過返流的不是碳?xì)浠衔铮?，也要更換和補(bǔ)充氟聚醚，況且氟聚醚很貴，高達(dá)每一公斤作價(jià)貳百美元，很不劃算。

有些工藝過程中所抽除的氣體是有毒的，或其反應(yīng)生成物是有毒的，混在工作液里，在更換工作液時(shí)，很不安全。

有的工藝過程中所抽氣體或其反應(yīng)物是腐蝕性的，腐蝕物溶于工作液中，無法排除，影響抽氣系統(tǒng)性能及泵的壽命。

還有一些是使用在有放射性物質(zhì)的場合，使用有工作液的泵很不安全（指更換工作液和對所排除氣體處理的方便程度而言）。

此外，在某些工藝過程中，會(huì)產(chǎn)生微粒，這些微粒混在工作液中無法排除，同樣影響泵的性能及壽命。

也還有些工藝，在過程中會(huì)產(chǎn)生冷凝，成為粘附狀態(tài)物質(zhì)，使泵卡住，不能運(yùn)轉(zhuǎn)而失效。

以上種種場合，急需干式機(jī)械真空泵，在很大程度上，干式真空泵可在以上某一方面或幾方面得到較滿意的解決。

本文作者：榮道發(fā)（執(zhí)筆）

本文部分摘自《干式機(jī)械真空泵綜述》

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